研究課題
若手研究(B)
ガラス材料に超短パルスレーザを照射することで集光点の微小領域を溶融し,ガラスを微細接合する技術を確立するために溶接特性や機械強度評価を行った.その結果,レーザ光走査速度は溶融部の大きさに,パルス繰り返し数はマイクロバブルやクラックの発生に大きく影響することが明かとなった.また,レーザ光走査速度が小さく,比較的大きなパルス繰り返し数を選択すれば,レーザ光照射によって溶融された領域であっても母材と同程度の機械強度が得られた.
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第18回エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術シンポジウム論文集
巻: 18巻 ページ: 327-330
Optics Express
巻: Vol.19, No.23 ページ: 22961-22973