| 研究概要 |
ウェットブラスト法を用いたMSE(微小固体粒子衝突)試験機(現有設備)により、平均粒径約1μmの固体粒子と純水を混合したスラリー液を圧縮空気によって高速に噴射することでマトリックスを選択的に除去し、硬質相を突出させる研究を行った。本年度は、突出量の評価方法の構築を行うとともに、突出量を制御するために、スラリー加速空気圧力、ステージの送り速度、投射回数を制御し試験を行った。
その結果、スラリー空気圧力を変化させた場合、スラリー加速空気圧が0.1MPaの時,突出量は未加工面とほとんどかわらなく、スラリー加速空気圧力を0.15MPa以上に増加させると、突出量は増加し、0.2MPaの時、突出量が0.41μmと最大となることがわかった。また、さらにスラリー加速空気圧力を増加させると、突出量は大きくならず一定に推移し、それ以上のスラリー空気圧力0.3MPaの時には、Si粒子が脱落することが明らかになった。また、ステージの送り速度が3mm/sまでは,1mm/sずつ速くなると突出量は約14%減少し,その後,速度を速くすると突出量は徐々に低下することや、投射回数を1から3回まで増やす場合は突出量が直線的に増加することが明らかになった。
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