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2009 年度 実績報告書

超高感度近接場蛍光熱顕微鏡を用いた熱物性その場測定法の開発

研究課題

研究課題/領域番号 21760163
研究機関慶應義塾大学

研究代表者

田口 良広  慶應義塾大学, 理工学部, 専任講師 (30433741)

キーワードナノ熱工学 / 近接場光 / 走査型プローブ顕微鏡 / 計測技術 / 蛍光寿命
研究概要

近接場光は光の波長よりも十分に小さい開口に局在する非伝播光成分であり、そのしみ出し深さは開口径と同程度である。ナノサイズの微小開口を有する近接場プローブを用いることで、光の回折限界を超えた高い空間分解能で試料の光学応答を分析することができる。本研究では、ナノ領域において「そこにどのような構造の分子が、どの程度結晶欠陥やボイドを有し、どのくらい均一・均質に基板に修飾されているか」を光学的に直接モニタリングする革新的その場測定手法を確立することを目指しており、平成21年度は以下に挙げる具体的な成果を得るに至った。
◆超高感度近接場蛍光熱顕微鏡の開発
(1) コアの構成材料が純粋石英であるファイバーを近接場ファイバー母材に選定した。レーザー分光によるファイバー母材の自家蛍光を測定したところ、従来の近接場ファイバーの30%程度のノイズであることが明らかになった。また、ファイバー母材の蛍光寿命の測定を位相分解蛍光寿命測定法を用いて行った結果、量子ドットの蛍光寿命よりも遥かに短いことが分かった。
(2) Geを高濃度にドープした近接場ファイバーを純粋石英ファイバー先端に200μm程度だけ作成する方法を提案した。本方法を用いることにより、自家蛍光の影響を低減させることが可能となった。コア径が異なる2種類のファイバーを融着するために、放電強度ならびに融着位置、スイープ速度等の融着パラメータを決定し、低損失な融着ファイバーの作成に成功した。

  • 研究成果

    (21件)

すべて 2010 2009

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (18件)

  • [雑誌論文] レーザー誘起誘電泳動を用いた小型拡散センサーの開発2009

    • 著者名/発表者名
      猪谷恒一
    • 雑誌名

      熱物性 23

      ページ: 197-202

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Micro Optical Viscosity Sensor for in situ Measurement Based on a Laser-Induced Capillary Wave2009

    • 著者名/発表者名
      Taguchi, Y.
    • 雑誌名

      J.Thermal Sci. and Tech. 4

      ページ: 99-108

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of Near-field Fluoresence Lifetime Thermometry2009

    • 著者名/発表者名
      Taguchi, Y
    • 雑誌名

      Nanosc.Microse.Therm. 13

      ページ: 77-87

    • 査読あり
  • [学会発表] Study on Novel Micro Optical Diffusion Sensor based on Laser Induced Dielectrophoresis2010

    • 著者名/発表者名
      Itani, K.
    • 学会等名
      The 23rd IEEE MEMS2010
    • 発表場所
      Hong Kong
    • 年月日
      2010-01-24
  • [学会発表] Feasibility Study of Micro Optical Diffusion Sensor based on Laser Induced Dielectrophoresis2010

    • 著者名/発表者名
      Itani, K.
    • 学会等名
      SPIE Photonies West
    • 発表場所
      San Francisco
    • 年月日
      2010-01-23
  • [学会発表] Development of Miniaturized Optical Viscosity Sensor with Optical Surface Tracking System2010

    • 著者名/発表者名
      Abe, H.
    • 学会等名
      SPIE Photonics West
    • 発表場所
      San Francisco
    • 年月日
      2010-01-23
  • [学会発表] Development of Micro Optical Diffusion Sensor Based on Laser Induced Dielectrophoresis2009

    • 著者名/発表者名
      Taguchi, Y.
    • 学会等名
      ASME 2009 2nd Micro/Nanoscale Heat & Mass Transfer International Conference(MNHMT2009)
    • 発表場所
      Shanghai
    • 年月日
      2009-12-18
  • [学会発表] ナノからマクロまでの光学的熱物性センシング2009

    • 著者名/発表者名
      田口良広
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会 走査型プローブ顕微鏡分科会「光プローブ顕微鏡の新たな活躍の場を求めて~顕微鏡技術の融合と熱物性への応用~」
    • 発表場所
      神奈川
    • 年月日
      2009-12-15
  • [学会発表] レーザー誘起表面波法を用いた粘性率測定マイクロチップの開発(第三報 液面-センサー間距離制御機構を用いた揮発性溶液の測定)2009

    • 著者名/発表者名
      阿部広
    • 学会等名
      日本機械学会熱工学コンファレンス2009講演論文集
    • 発表場所
      宇部
    • 年月日
      2009-11-07
  • [学会発表] 周期加熱サーモリフレクタンス法を用いたSip実装半導体デバイス内部におけるマイクロスケール熱抵抗評価手法の開発2009

    • 著者名/発表者名
      秋葉洋
    • 学会等名
      日本機械学会熱工学コンファレンス2009講演論文集
    • 発表場所
      宇部
    • 年月日
      2009-11-07
  • [学会発表] レーザー誘起誘電泳動を用いたマイクロ拡散センサーの開発2009

    • 著者名/発表者名
      田口良広
    • 学会等名
      第30回日本熱物性シンポジウム講演論文集
    • 発表場所
      米沢
    • 年月日
      2009-10-29
  • [学会発表] 偏光した近接場光を用いたナノスケール温度・熱物性測定手法の開発2009

    • 著者名/発表者名
      保坂俊輔
    • 学会等名
      第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2009-10-15
  • [学会発表] レーザー誘起誘電泳動を用いた拡散係数モニタリングのための集積化マイクロチップに関する予備的検討2009

    • 著者名/発表者名
      猪谷恒一
    • 学会等名
      第1回マイクワ・ナノ工学シンポジウム
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2009-10-15
  • [学会発表] 光学式粘性センサーを用いたリアルタイムモニタリング実現性の検討2009

    • 著者名/発表者名
      阿部広
    • 学会等名
      第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2009-10-15
  • [学会発表] 光MEMS熱物性センサーを用いた粘性率、拡散係数のリアルタイムモニタリング2009

    • 著者名/発表者名
      田口良広
    • 学会等名
      日本機械学会RC237分科会「先端的熱流体計測法に関する研究分科会」第6回研究会
    • 発表場所
      神奈川
    • 年月日
      2009-09-08
  • [学会発表] Development of Micro Optical Viscosity Sensor with Focus control System for in-process Monitorin2009

    • 著者名/発表者名
      Taguchi, Y.
    • 学会等名
      IEEE/LEOS Optical MEMS and Nanophotonics 2009
    • 発表場所
      Florida
    • 年月日
      2009-08-17
  • [学会発表] Development of High Sensitive Near-Field Fluorescence Lifetime Thel mometry with Nanoscale Spatial Resolution2009

    • 著者名/発表者名
      Oka, T.
    • 学会等名
      Proc.17th Symposium on Thermophysical Prope rties
    • 発表場所
      Boulder
    • 年月日
      2009-06-24
  • [学会発表] Development of Photothermal Reflectance Method for Microscale The rmal Resistance in SiP-mounted Semiconductor Devices2009

    • 著者名/発表者名
      Akiba, Y.
    • 学会等名
      Proc.17th Symposium on Thermophysical Prope rties
    • 発表場所
      Boulder
    • 年月日
      2009-06-24
  • [学会発表] Development of Micro Optical Diffusion Sensor using Opto-dielectrop horesis2009

    • 著者名/発表者名
      Taguchi, Y.
    • 学会等名
      Proc.17th Symposium on Thermophysical Prope rties
    • 発表場所
      Boulder
    • 年月日
      2009-06-24
  • [学会発表] レーザー誘起誘電泳動を用いた新しい光学的小型拡散センサーの研究 第一報:測定原理の妥当性の検証及び相互拡散現象の観察2009

    • 著者名/発表者名
      蛭子井明
    • 学会等名
      第46回日本伝熱シンポジウム講演論文
    • 発表場所
      京都
    • 年月日
      2009-06-03
  • [学会発表] 偏光近接場を用いた高感度ナノスケール温度測定手法の開発(第一報 測定原理の検証および従来法との感度比較)2009

    • 著者名/発表者名
      笠掛利彰
    • 学会等名
      第46回日本伝熱シンポジウム講演論文
    • 発表場所
      京都
    • 年月日
      2009-06-03

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公開日: 2011-06-16   更新日: 2016-04-21  

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