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2010 年度 実績報告書

超高感度近接場蛍光熱顕微鏡を用いた熱物性その場測定法の開発

研究課題

研究課題/領域番号 21760163
研究機関慶應義塾大学

研究代表者

田口 良広  慶應義塾大学, 理工学部, 専任講師 (30433741)

キーワードナノ熱工学 / 近接場光 / 走査型プローブ顕微鏡 / 計測技術 / 蛍光寿命
研究概要

本研究課題「超高感度近接場蛍光熱顕微鏡を用いた熱物性その場測定法の開発」はナノ領域において「そこにどのような構造の分子が、どの程度結晶欠陥やボイドを有し、どのくらい均一・均質に基板に修飾されているか」を光学的に直接モニタリングする革新的その場計測手法を確立することを目的としている。本研究により、局所的な熱物性の変化ならびに温度応答性を測定することで、ナノ結晶中のPhonon-Phonon散乱あるいはPhonon-Electron散乱、結晶欠陥やボイド、界面状態を分析することができる。ナノメートルオーダーの空間分解能でナノ機能性材料の熱物性を非接触で測定できれば、ナノマテリアルのプロセスモニタリングや、新しい記録デバイス開発へと繋がる。
『超高真空近接場光チャンバーと温度プローブの構造解析による超高感度計測技術の確立』
(1)近接場光学熱顕微鏡を超高真空下で動作させることで、熱伝導に起因したノイズと制御の不安定性を無視できることを解析的に明らかにした。また、超高真空近接場チャンバーに適用可能な偏光近接場光学熱顕微システムを新たに提案し、その妥当性を実験的に明らかにした。
(2)温度プローブであるQdotの構造をTEMを用いて明らかにした。また、粒径分布に起因した波長分散ならびに蛍光寿命の変化を実験的に明らかにし。得られた知見をもとに、新たな測定理論を構築し、ナノスケール熱物性計測に資する高精度温度計測手法を確立するに至った。

  • 研究成果

    (16件)

すべて 2010 その他

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (12件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] 光学式粘性センサーを用いたリアルタイムモニタリング実現性の検討2010

    • 著者名/発表者名
      阿部広
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集(C編)

      巻: 76 ページ: 1923-1925

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 偏光した近接場光を用いたナノスケール温度測定手法の開発2010

    • 著者名/発表者名
      保坂俊輔
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集(C編)

      巻: 76 ページ: 1926-1928

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of a micro optical diffusion sensor using laser-induced dielectrophoretic manipulation2010

    • 著者名/発表者名
      K.Itani
    • 雑誌名

      Heat Transfer-Asian Research

      巻: 39 ページ: 344-354

    • 査読あり
  • [学会発表] フォトサーマル赤外検知法によるカーボンナノチューブ複合ポリマー薄膜の熱伝導率・温度伝導率同時測定の研究加熱用半導体レーザー消光比の検討2010

    • 著者名/発表者名
      佐藤翼
    • 学会等名
      第31回日本熱物性シンポジウム
    • 発表場所
      福岡
    • 年月日
      2010-11-19
  • [学会発表] 近接場光を用いた自己組織化単分子膜の局所熱パターニング手法の開発2010

    • 著者名/発表者名
      田口良広
    • 学会等名
      第31回日本熱物性シンポジウム
    • 発表場所
      福岡
    • 年月日
      2010-11-17
  • [学会発表] Simultaneous Measurement of Thermal Conductivity and Thermal Diffusivity for Superconducting Thin Films (YBCO) by Photothermal Radiometry2010

    • 著者名/発表者名
      T.Ando
    • 学会等名
      9th Asian Thermophysical Properties Conference
    • 発表場所
      北京
    • 年月日
      2010-10-20
  • [学会発表] Development of Nanometer Scale Temperature Measurement Method by Polarized Near-Field Light2010

    • 著者名/発表者名
      S.Hosaka
    • 学会等名
      9th Asian Thermophysical Properties Conference
    • 発表場所
      北京
    • 年月日
      2010-10-20
  • [学会発表] Study on Nanoscale Patterning Method of Self-assembled Monolayer Using Near-field Photothermal Desorption2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Yamamoto
    • 学会等名
      The 14th International Conference on Miniaturised Systems for Chemistory and Life Science
    • 発表場所
      フローニンゲン(オランダ)
    • 年月日
      2010-10-05
  • [学会発表] Development of Novel Micro Optical Duffusion Sensor Using Micro Fresnel Mirror2010

    • 著者名/発表者名
      T.Oka
    • 学会等名
      The 14th International Conference on Miniaturised Systems for Chemistory and Life Science
    • 発表場所
      フローニンゲン(オランダ)
    • 年月日
      2010-10-05
  • [学会発表] Development of Nanoscale Patterning Method of Self-Assembled Monolayer using Photothermal Desorption in Near-field2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Yamamoto
    • 学会等名
      The 2010 International Conference on Solid State Devices and Materials, Tokyo
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2010-09-23
  • [学会発表] レーザー誘起誘電泳動を用いた新しい光MEMS拡散センサーの開発マイクロフレネルミラーによる誘電泳動の誘起および拡散現象の観察2010

    • 著者名/発表者名
      岡哲大
    • 学会等名
      日本機械学会2010年度年次大会
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2010-09-07
  • [学会発表] 近接場光学熱脱離を用いた自己組織化単分子膜のナノスケールパターニング法の開発2010

    • 著者名/発表者名
      山本裕
    • 学会等名
      日本機械学会2010年度年次大会
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2010-09-07
  • [学会発表] フォトサーマル赤外検知法を用いた超伝導薄膜(YBCO)の熱伝導率と温度伝導率の同時測定2010

    • 著者名/発表者名
      安藤哲
    • 学会等名
      第47回日本伝熱シンポジウム
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2010-05-28
  • [学会発表] 周期加熱サーモリフレクタンス法を用いた半導体デバイス内部におけるマイクロスケール熱抵抗評価技術の開発界面熱抵抗の異なるAu-Si 2層試料の測定2010

    • 著者名/発表者名
      秋葉洋
    • 学会等名
      第47回日本伝熱シンポジウム
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2010-05-28
  • [学会発表] 近接場蛍光を用いたナノスケール温度センシング技術の開発融着型近接場ファイバプローブによる蛍光寿命測定の高感度化2010

    • 著者名/発表者名
      岡巧
    • 学会等名
      第47回日本伝熱シンポジウム
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2010-05-28
  • [備考]

    • URL

      http://www.naga.sd.keio.ac.jp/

URL: 

公開日: 2012-07-19  

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