超高感度近接場蛍光熱顕微鏡を用いた熱物性その場測定法の開発

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21760163
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 熱工学
• 研究機関: 慶應義塾大学
• 研究代表者: 田口 良広 慶應義塾大学, 理工学部, 専任講師 (30433741)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2010
• キーワード: 近接場蛍光 / 走査プローブ顕微鏡 / マイクロ・ナノデバイス

研究概要

ナノデバイスの機能発現には,その構造をナノレベルで解明することが必要不可欠であり,特にin situでのリアルタイムモニタリングによるプロセス制御は,機能発現のメカニズム解明のみならず,結晶成長品質の向上・成長速度の最適化・歩留まりの向上等へと繋がると期待され,ナノレベルのその場計測技術が求められている.本研究ではナノ分子構造・熱物性をその場で測定可能な超高感度近接場蛍光熱顕微鏡を開発し,その妥当性を検証することに成功した.

研究成果

• [雑誌論文] Development of a Micro Optical Diffusion Sensor Using Laser-Induced Dielectrophoretic Manipulation (2010)
  • 著者名/発表者名: Itani, K., Ebisui, A., Taguchi, Y., Nagasaka, Y.
  • 雑誌名: Heat Transfer-Asian Research Vol.39, No.5 ページ: 344-354
  • 査読あり
• [雑誌論文] 光学式粘性センサーを用いたリアルタイムモニタリング実現性の検討 (2010)
  • 著者名/発表者名: 阿部広, 長町隆介, 田口良広, 長坂雄次
  • 雑誌名: 日本機械学会論文集(C編) Vol.76, No.768 ページ: 43-45
  • 査読あり
• [雑誌論文] 偏光した近接場光を用いたナノスケール温度測定手法の開発 (2010)
  • 著者名/発表者名: 保坂俊輔, 笠掛利彰, 田口良広, 長坂雄次
  • 雑誌名: 日本機械学会論文集(C編) Vol.76, No.768 ページ: 46-48
  • 査読あり
• [雑誌論文] Development of Near-field Fluorescence Life-time Thermometry (2009)
  • 著者名/発表者名: Taguchi, Y., Oka, T., Saiki, T., Nagasaka, Y.
  • 雑誌名: Nanoscale and Microscale Thermophysical Engineering Vol.13, No.2 ページ: 77-87
  • 査読あり
• [雑誌論文] Micro Optical Viscosity Sensor for in situ Measurement Based on a Laser-Induced Capillary Wave (2009)
  • 著者名/発表者名: Taguchi, Y., Nagamachi, R., Nagasaka, Y.
  • 雑誌名: Journal of Thermal Science and Technology Vol.4, No.1 ページ: 98-108
  • 査読あり
• [雑誌論文] レーザー誘起誘電泳動を用いた小型拡散センサーの開発 (2009)
  • 著者名/発表者名: 猪谷恒一, 蛭子井明, 田口良広, 長坂雄次
  • 雑誌名: 熱物性 Vol.23, No.4 ページ: 197-202
  • 査読あり
• [学会発表] Simultaneous Measurement of Thermal Conductivity and Thermal Diffusivity for Superconducting Thin Films (YBCO) by Photothermal Radiometry (2010)
  • 著者名/発表者名: Ando, T., Taguchi, Y., Nagasaka, Y.
  • 学会等名: 9th Asian Thermophysical Properties Conference
  • 発表場所: Beijing, China
  • 年月日: 2010-10-20
• [学会発表] Development of Nanometer Scale Temperature Measurement Method by Polarized Near-field Light (2010)
  • 著者名/発表者名: Hosaka, S., Kasakake, T., Taguchi, Y., Saiki, T., Nagasaka, Y.
  • 学会等名: 9th Asian Thermophysical Properties Conference
  • 発表場所: Beijing, China
  • 年月日: 2010-10-20
• [学会発表] Development of Novel Micro Optical Diffusion Sensor using Micro Fresnel Mirror (2010)
  • 著者名/発表者名: Oka, T., Itani, K., Taguchi, Y., Nagasaka, Y.
  • 学会等名: The 14th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences
  • 発表場所: Groningen, The Netherlands
  • 年月日: 2010-10-05
• [学会発表] Study on Nanoscale Patterning Method of Self-Assembled Monolayer using Near-Field Photothermal Desorption (2010)
  • 著者名/発表者名: Yamamoto, Y., Taguchi, Y., Nagasaka, Y.
  • 学会等名: The 14th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences
  • 発表場所: Groningen, The Netherlands
  • 年月日: 2010-10-05
• [学会発表] Development of Nanoscale Patterning Method of Self-Assembled Monolayer using Photothermal Desorption in Near-field (2010)
  • 著者名/発表者名: Yamamoto, Y., Taguchi, Y., Nagasaka, Y.
  • 学会等名: 2010 International Conference on Solid State Devices and Materials
  • 発表場所: Tokyo, Japan
  • 年月日: 2010-09-23
• [学会発表] Development of a Micro Optical Diffusion Sensor using Laser-Induced Dielectrophoresis (2010)
  • 著者名/発表者名: Itani, K., Oka, T., Taguchi, Y., Nagasaka, Y.
  • 学会等名: International Symposium on Nano-Micro Multi-Functional Devices
  • 発表場所: Kawasaki, Japan
  • 年月日: 2010-03-18