変位増幅型マイクロアクチュエータの開発研究

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21760202
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 知能機械学・機械システム
• 研究機関: 慶應義塾大学
• 研究代表者: 三木 則尚 慶應義塾大学, 理工学部, 専任講師 (70383982)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2010
• キーワード: マイクロマシン / ユーザーインターフェース / 知能機械 / バーチャルリアリティ / マルチモーダルインターフェース

研究概要

皮膚を機械的に変形、皮膚内部に分布する触覚受容器群を時空間的に刺激し、触覚情報を人に提示する触覚ディスプレイや、大容量のマイクロバルブの実現には、大変位マイクロアクチュエータの開発が不可欠である。本研究では特に、MEMS技術を用い、上下面で断面積の異なるマイクロチャンバ内に非圧縮性流体を封入した変位増幅機構を有する、変位増幅型マイクロアクチュエータを実現し、特性評価を行った。

研究成果

• [雑誌論文] MEMS-based Hydraulic Displacement Amplification Mechanism with Completely Encapsulated Liquid (2011)
  • 著者名/発表者名: T.Ninomiya, Y.Okayama, Y.Matsumoto, X.Arouette, K.Osawa, N.Miki
  • 雑誌名: Sensors and Actuators A : Physical 166 ページ: 277-282
  • 査読あり
• [雑誌論文] Characterization of a Bonding-in-Liquid Technique for Liquid Encapsulation into MEMS Devices (2010)
  • 著者名/発表者名: Y.Okayama, K.Nakahara, A.Xavier, T.Ninomiya, Y.Matsumoto, Y.Orimo, A.Hotta, M.Omiya, N.Miki
  • 雑誌名: Journal of Micromechanics and Microengineering 20 ページ: 095018(6)
  • 査読あり
• [雑誌論文] Dynamic Characteristics of a Hydraulic Amplification Mechanism for Large Displacement Actuators Systems (2010)
  • 著者名/発表者名: X.Arouette, Y.Matsumoto, T.Ninomiya, Y.Okayama, N.Miki
  • 雑誌名: Sensors 10 ページ: 2946-2956
  • 査読あり
• [学会発表] Flexible Distributed Capacitive Sensor with Encapsulated Ferroelectric Liquid (2011)
  • 著者名/発表者名: Y.Hotta, Y.Zhang, N.Miki
  • 学会等名: IEEE MEMS2011
  • 発表場所: Cancun, Mexico.
  • 年月日: 2011-01-25
• [学会発表] Dynamic Response of Hydraulic Displacement Amplification Mechanism Applicable to Braille Code Display (2010)
  • 著者名/発表者名: X.Arouette, Y.Matsumoto, T.Ninomiya, Y.Okayama, N.Miki
  • 学会等名: The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT) 2010
  • 発表場所: Perth, Australia.
  • 年月日: 2010-07-09
• [学会発表] Vibrational Braille Code Display with MEMS-Based Hydraulic Displacement Amplification Mechanism (2010)
  • 著者名/発表者名: Y.Matsumoto, X.Arouette, T.Ninomiya, Y.Okayama, N.Miki
  • 学会等名: IEEE MEMS2010
  • 発表場所: Hong Kong, China.
  • 年月日: 2010-01-25
• [備考] ホームページ等
  • URL: http://www.miki.mech.keio.ac.jp