研究課題
若手研究(B)
柔軟な圧電性フィルムは医療用超音波振動子、エネルギー発電デバイス等に有効であるが、従来はそのようなフレキシブルな圧電材料を製作するのは困難であった。本研究では、チタン薄膜をプラスチック基板(PEEK)上に電子ビームで蒸着し、ジルコン酸チタン酸鉛(PZT)の圧電薄膜を、超音波アシスト水熱法により成膜した。この手法を開発することにより、柔軟・軽量な圧電トランスデューサを実現できることを示した。
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J.Korean Phys.Soc. vol.57, No.4
ページ: 918-923
Materials vol.3
ページ: 5236-5245
http://www.ems.k.u-tokyo.ac.jp/morita