| 研究概要 |
ESDガンの低電圧気中放電の放電電流の特性把握に関し,数百ボルトの低電圧ESDの放電電流波形の立ち上がり時間は15ps程度と非常に高速であることがわかった.また,火花抵抗則を用いた放電電流予測のための等価回路モデルを提案し,Rome-Weizelの火花抵抗則では放電電流の立ち上がり部分を精度よく模擬できること,それに対しToeplerのそれでは放電電流波形の尾の部分を精度よく模擬できることがわかった.今後の課題として,実際の情報通信端末などの電子機器に低電圧のESDガンの気中放電で放電した際の放電電流,絶縁破壊電界などの特性把握を行うことが挙げられる.
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