シリコンナノ粒子を分散させた炭素系新規半導体薄膜の創製と応用

2011 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21760523
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 無機材料・物性
• 研究機関: 弘前大学
• 研究代表者: 中澤 日出樹 弘前大学, 大学院・理工学研究科, 准教授 (90344613)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2011
• キーワード: 電子・電気材料 / ナノ材料 / 半導体物性 / 光物性

研究概要

メタンおよびシリコン源にモノメチルシラン、ジメチルシランなどの有機ケイ素化合物を用いた高周波プラズマ化学気相成長法により、球状微粒子を含む炭素系薄膜の作製を行った。モノメチルシランの場合、球状微粒子の主成分はシリコンであることがわかった。パルス化基板バイアスまたはモノメチルシランの間欠供給を用いることにより、微粒子の生成と成長を制御できることがわかった。また、希釈ガスの種類、成膜圧力、基板温度によっても微粒子サイズおよび密度が変化することを示した。

研究成果

• [雑誌論文] Characteristics of Silicon/ Nitrogen-Coincorporated Diamond-Like Carbon films Prepared by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (2012)
  • 著者名/発表者名: H. Nakazawa, S. Miura, R. Kamata, S. Okuno, Y. Enta, M. Suemitsu, T. Abe
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: Vol.51 ページ: 015603-1-015603-7
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effects of Hydrogen on the Properties of Si-Incorporated Diamond-Like Carbon Films Prepared by Pulsed Laser Deposition (2011)
  • 著者名/発表者名: H. Nakazawa, R. Osozawa, T. Okuzaki, N. Sato, M. Suemitsu, T. Abe
  • 雑誌名: Diamond and Related Materials 巻: Vol.20 ページ: 485-491
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effects of Silicon Source Gas and Substrate Bias on the Film Properties of Si-Incorporated Diamond-Like Carbon by Radio-Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (2009)
  • 著者名/発表者名: H. Nakazawa, T. Kinoshita, Y. Kaimori, Y. Asai, M. Suemitsu, T. Abe, K. Yasui, T. Endoh, T. Itoh, Y. Narita, Y. Enta, M. Mashita
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: Vol.48 ページ: 116002-1-116002-8
  • 査読あり
• [雑誌論文] Hydrogen Effects on the Properties of Silicon/Nitrogen-Coincorporated
  • 著者名/発表者名: H. Nakazawa, S. Okuno, S. Miura, R. Kamata
  • 雑誌名: Diamond-Like Carbon Films Prepared by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
  • 査読あり
• [学会発表] Hydrogen Effects of the Properties of Silicon, Nitrogen-Coincorporated Diamond-Like Carbon Films Prepared by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (2011)
  • 著者名/発表者名: H. Nakazawa, S. Miura, S. Okuno, R. Kamata
  • 学会等名: 22th European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides
  • 発表場所: Garmisch-Partenkirchen, Germany
  • 年月日: 20110000
• [学会発表] Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides (2010)
  • 著者名/発表者名: H. Nakazawa, R. Osozawa, T. Okuzaki, N. Sato, M. Suemitsu, T. Abe
  • 学会等名: 21th European Conference on Diamond
  • 発表場所: Budapest, Hungary
  • 年月日: 20100000
• [学会発表] パルスバイアスを用いたプラズマCVD法によるSi添加DLC膜特性のパルスパラメータ依存性 (2010)
  • 著者名/発表者名: 鎌田亮輔、中澤日出樹、三浦創史、阿部俊三、末光眞希
  • 学会等名: 第71回応用物理学学術講演会
  • 発表場所: 長崎大学
  • 年月日: 20100000