研究課題
若手研究(B)
CeO_2は、酸素吸放出能に優れることから、自動車排ガス浄化三元触媒の助触媒材料として期待され、大きな比表面積を有する羽毛状組織および高反応効率の結晶面(100)に配向した膜が求められる。CeO_2に小さな遷移金属イオン(Fe^<3+> : 0. 078nm)を固溶することによって酸素吸放出能の向上が期待される。そこで、本研究では、レーザーCVD法を用いてCe_<1-x> Fe_xO_<2-δ> 固溶体膜を合成し、結晶配向、微細組織および成膜速度に及ぼすレーザー出力(P_L)および反応室内全圧(P_<tot>)の影響を調べた。P_<tot>=0. 8 kPa、P_L=0-50 WではCe_<1-x> Fe_xO_<2-δ> 固溶体膜が無配向であったが、P_L=50-150Wでは(100)配向したCe_<1-x> Fe_xO_<2-δ> 固溶体膜が得られた。Ce_<1-x> Fe_xO_<2-δ> 膜におけるFe_2O_3の固溶限は0. 15であった。成膜速度は最大で約100μm/hであった。(100)配向したCe_<1-x> Fe_xO_<2-δ> 固溶体膜は羽毛状構造を有し、大きな比表面積を有することが示唆される。
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