| 研究概要 |
種々のアモルファス酸化物(Al_2O_3,WO_3,TiO_2,Cr_2O_3)のアニールに伴うボイド形成挙動を透過型電子顕微鏡により観察し,ナノポーラス構造の形成機構の解明を行った.結晶に比べて20～30%密度が低いことが知られているアモルファスAl_2O_3およびWO_3においては,結晶化により2～13nmのボイドが高密度に形成された.一方,結晶間との密度差が2～4%程度と小さいアモルファスTiO_2および Cr_2O_3を結晶化させてもボイドは形成されなかった.アモルファスと結晶間の大きな密度差がボイド形成の必要条件となることが実験的に明らかにされた.
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