パルスアークが生む超高密度プラズマ流によるマイクロDLCコーティング法の開発

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21760581
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 材料加工・処理
• 研究機関: 名古屋大学
• 研究代表者: 上坂 裕之 名古屋大学, 工学研究科, 准教授 (90362318)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2010
• キーワード: パルスアークプラズマ / アブレーション / ダイヤモンドライクカーボン / スリット内面 / PTFE / 硬度 / 水蒸気

研究概要

パルスアークが生み出す超高密度プラズマ流による,100μm程度の微小幅内面へのDLCコーティングの可能性を検討した.まず,PTFEのパルスプラズマアブレーションによって成膜されるDLC膜の高硬度化手法として,成膜雰囲気への微量の水分の混入が有効であることが明らかになった.次に,パルスプラズマアブレーションによって幅1.0mm,0.5mm,0.2mmのスリット内面へのDLC成膜を試みた.その結果,幅1.0mmのスリット内面には入り口から10mm程度の内面にまで成膜されたが,0.5,0.2mm幅のスリット内面においては,成膜されなかった.

研究成果

• [雑誌論文] Surface Chemical Modification of Ciir Rubber by High Density Plasma Treatment (2010)
  • 著者名/発表者名: J.H.Kim, N.Umehara, H.Kousaka, M.Shimada, M.Hasegawa
  • 雑誌名: International Journal of Modern Physics B 24 ページ: 2682-2687
  • 査読あり
• [雑誌論文] Plasma Treatment of Ciir Rubber with Improvement of Adhesion and Real Contact Area (2010)
  • 著者名/発表者名: J.H.Kim, I.Nitta, N.Umehara, H.Kousaka, M.Shimada, M.Hasegawa
  • 雑誌名: International Journal of Modern Physics B 24 ページ: 2688-2693
  • 査読あり
• [雑誌論文] プラズマによる立体形状表面加工の最新動向とトライボロジー (2010)
  • 著者名/発表者名: 上坂裕之
  • 雑誌名: トライボロジスト 55 ページ: 790-796
• [学会発表] High-speed DLC coating employing high-density near plasma sustained by microwave propagation along plasma-sheath interface (2011)
  • 著者名/発表者名: T.Okamoto, H.Kousaka, N.Umehara
  • 学会等名: The 4th international conference on PLAsma-NanoTechnology & Science
  • 発表場所: 高山市民文化会館
  • 年月日: 2011-03-11
• [学会発表] Improvement of axial uniformity of DLC film coated to inner surface of narrow metal tube with MVP method (2011)
  • 著者名/発表者名: KAZUNORI MORI, HIROYUKI KOUSAKA, NORITSUGU UMEHARA
  • 学会等名: 3nd Int.Symp.Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPLASMA2011)
  • 発表場所: 名古屋工業大学
  • 年月日: 2011-03-08
• [学会発表] Internal DLC Coating of Narrow Metal Tubes with High-Density Near Plasma Sustained by Microwave Propagation along Plasma-Sheath Interfaces (2010)
  • 著者名/発表者名: Hiroyuki Kousaka, Kazunori Mori, Noritsugu Umehara
  • 学会等名: 63rd Gaseous Electronics conference/ 28th Symposium on plasma Processing/ 7th International Conference on Reactive Plasmas
  • 発表場所: Maison De LA Chimie (Paris,France)
  • 年月日: 2010-10-05
• [学会発表] MVP 法により細穴内面に成膜されたDLC 膜の軸方向の均一化 (2010)
  • 著者名/発表者名: 森一憲, 上坂裕之, 梅原徳次
  • 学会等名: 第71回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 長崎大学
  • 年月日: 2010-09-16
• [学会発表] High-density plasma generation using microwave propagation along plasma-sheath interface and its application to DLC coating (2010)
  • 著者名/発表者名: H.Kousaka
  • 学会等名: 1st International Workshop on Plasma Scientech for All Something (Plasas- 1)
  • 発表場所: Xinming Lake Holiday Resort (Beijing, China)(invieted)
  • 年月日: 2010-05-15
• [学会発表] Internal Plasma Processing of Narrow Halls and Tubes with Microwave Propagation Along Plasma-Sheath Interfaces (2010)
  • 著者名/発表者名: H.Kousaka, K.Mori, N.Umehara, N.Tamura, T.Shindo
  • 学会等名: 37th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF)
  • 発表場所: Town & Country Hotel (SanDiego, USA)
  • 年月日: 2010-04-26
• [学会発表] Internal Plasma Processing of Narrow Halls and Tubes with Microwave Propagation Along Plasma-Sheath Interfaces (2010)
  • 著者名/発表者名: H.Kousaka, K.Mori, N.Umehara, N.Tamura, T.Shindo
  • 学会等名: 53rd Technical conference of SVC (Society of Vacuum Coaters)
  • 発表場所: Orland World Center (Orland, USA)
  • 年月日: 2010-04-19
• [学会発表] Hardness increase of amorphous carbon film coated by pulsed-plasma ablation of PTFE (2010)
  • 著者名/発表者名: Shingo KAWARA, Hiroyuki KOIZUMI, Hiroyuki KOUSAKA, et.al.
  • 学会等名: The 3rd Int.Conf.Plasma-NanoTechnology & Science (IC-PLANTS)
  • 発表場所: 名城大学
  • 年月日: 2010-03-11
• [学会発表] Control of fluorine content for hardness increase of amorphous carbon film coated by pulsed-plasma ablation (2010)
  • 著者名/発表者名: Shingo KAWARA, Hiroyuki KOIZUMI, Hiroyuki KOUSAKA, et.al.
  • 学会等名: 2nd Int.Symp.Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPLASMA2010)
  • 発表場所: 名城大学
  • 年月日: 2010-03-08
• [学会発表] Influence of fluorine content on hardness of amorphous carbon film coated by pulsed-plasma ablation (2009)
  • 著者名/発表者名: Shingo KAWARA, Hiroyuki KOUSAKA, et.al.
  • 学会等名: The 3rd Int.Conf.Manufacturing, Machine Design, and Tribology (ICMDT)
  • 発表場所: Ramada Plaza Jeju Hotel (済州島,韓国)
  • 年月日: 2009-06-25
• [産業財産権] フッ素含有炭素材料の製造方法 (2010)
  • 発明者名: 上坂裕之, 河原真吾, 小泉宏之, 山田和彦
  • 権利者名: 名古屋大学, 独立行政法人宇宙航空研究開発機構
  • 産業財産権番号: 特許出願,特願2010-024509
  • 出願年月日: 2010-02-05