超低電位プラズマを用いた高機能な有機系材料表面の創製と評価

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21760587
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 材料加工・処理
• 研究機関: 大阪大学
• 研究代表者: 竹中 弘祐 大阪大学, 接合科学研究所, 助教 (60432423)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2010
• キーワード: プラズマ処理・レーザー加工 / 機能性表面 / 表面改質・加工

研究概要

有機系材料の高性能化・高機能化技術、また革新的な有機系材料創製技術を実現に目指して、超低電位プラズマ源を用いた有機系材料表面の改質と、物理的・化学的特性の解析を行った。その結果、イオン・ラジカル・光を制御することにより、15nm程度の深部の分子構造への損傷を抑制した状態で、表面ナノ領域のみに酸素官能基の付与が可能であること、また、最表面でのマクロな構造を制御可能であることが明らかとなった。

研究成果

• [雑誌論文] Combinatorial Analysis of Plasma-Surface Interactions of Polyethyleneterephthalate with X-ray Photoelectron Spectroscopy (2010)
  • 著者名/発表者名: K.Takenaka, Y.Setsuhara, K.Cho, M.Shiratani, M.Sekine M.Hori
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 49 ページ: 08JA02-1-08JA02-4
  • 査読あり
• [雑誌論文] Advanced Research and Development for Plasma Processing of Polymers with Combinatorial Plasma-Process Analyzer, (2010)
  • 著者名/発表者名: Y.Setsuhara, K.Cho, K.Takenaka, M.Shiratani, M.Sekine M.Hori
  • 雑誌名: Thin Solid Films 518 ページ: 6320-6324
  • 査読あり
• [雑誌論文] Low-damage surface modification of polymethylmethacrylate with argon.oxygen mixture plasmas driven by multiple low-inductance antenna units, (2010)
  • 著者名/発表者名: Y.Setsuhara, K.Cho, K.Takenaka, M.Shiratani, M.Sekine, M.Hori, E.Ikenaga, S.Zaima,
  • 雑誌名: Thin Solid Films 518 ページ: 3561-3565
  • 査読あり
• [雑誌論文] Plasma Surface Treatment of Polymers with Inductivity Coupled RF Plasmas Driven by Low inductance Antenna Units, (2009)
  • 著者名/発表者名: Y.Setsuhara, K.Cho, K.Takenaka, A.Ebe, M.Shiratani, M.Sekine, M.Hori, E.Ikeitaga, H.Kondo, O.Nakatsuka, S.Zaima
  • 雑誌名: Thin Solid Films 518 ページ: 1006-1011
  • 査読あり
• [学会発表] Effects of Photoemissions in UV and VUV Regions on Nano-Surface Structures of Soft Materials during Plasma Processes (2010)
  • 著者名/発表者名: K.Cho, K.Takenaka, Y.Setsuhara, M.Shiratani, M.Sekine, M.Hori
  • 学会等名: 7th International Conference on Reactive Plasmas, 28th Symposium on Plasma Processing and 63rd Gaseous Electronics Conference (ICRP-7/SPP-28/GEC-63)
  • 発表場所: Maison de la Chimie, Paris, France
  • 年月日: 20101004-20101008
• [学会発表] X線光電子分光によるプラズマーソフト材料相互作用の解析-UV-VUV領域の発光がナノ表面に及ぼす影響- (2010)
  • 著者名/発表者名: 趙研、節原裕一、竹中弘祐、白谷正治、関根誠、堀勝
  • 学会等名: 第71回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 長崎大学文教キャンパス
  • 年月日: 20100914-20100917
• [学会発表] 低温・低ダメージプラズプロセスの開発に向けたプラズマ・ポリマー相互作用のナノ表面解析 (2010)
  • 著者名/発表者名: 趙研、竹中弘祐、節原裕一、白谷正治、関根誠、堀勝
  • 学会等名: 第57回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 東海大学湘南キャンパス
  • 年月日: 20100317-20100320
• [学会発表] 低温・低ダメージプラズマプロセスによる無機/有機ハイブリッド積層構造の形成 (2010)
  • 著者名/発表者名: 竹中弘祐、趙研、節原裕一、白谷正治、関根誠、堀勝
  • 学会等名: 第57回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 東海大学湘南キャンパス
  • 年月日: 20100317-20100320
• [学会発表] 低温・低ダメージプラズマプロセスの開発に向けたX線光電子分光法を用いたプラズマ-ポリマー相互作用の解析 (2010)
  • 著者名/発表者名: 趙研、竹中弘祐、節原裕一、白谷正治、関根誠、堀勝、池永英司、中塚理、財満鎭明
  • 学会等名: 第27回プラズマプロセシング研究会
  • 発表場所: 横浜市開港記念会館
  • 年月日: 20100201-20100203
• [備考] ホームページ等
  • URL: http://www.jwri.osaka-u.ac.jp/~dpt2/index.html