非リソグラフィー技術に基づくアルミニウムの表面微細加工技術の開発と応用

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21760592
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 材料加工・処理
• 研究機関: 工学院大学
• 研究代表者: 阿相 英孝 工学院大学, 工学部, 准教授 (80338277)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2010
• キーワード: 微細加工 / アノード酸化

研究概要

本研究においては,既存のリソグラフィー技術を用いずに,コロイド結晶テンプレート法と呼ばれる手法と湿式プロセスを組み合わせ,主にアルミニウムなどの固体基板を加工対象として,その固体基板表面をナノ・マイクロスケールで加工することを目的とした。この非リソグラフィー技術を用いることで,固体基板上に蜂の巣状の酸化物パターンを形成することができ,同手法はアルミニウム以外にもシリコンなどの半導体基板にも適用可能であることを確認した。

研究成果

• [雑誌論文] High-aspect-ratio GaAs pores and pillars with triangular cross section (2011)
  • 著者名/発表者名: H.Asoh, S.Kotaka, S.Ono
  • 雑誌名: Electrochemistry Communications 13 ページ: 458-461
  • 査読あり
• [雑誌論文] 自己組織化材料を利用したナノ・マイクロファブリケーション～ナチュラルリソグラフィー～(解説) (2011)
  • 著者名/発表者名: 阿相英孝, 小野幸子
  • 雑誌名: 表面技術 62 ページ: 92-97
  • 査読あり
• [雑誌論文] Site-Selective Anodic Etching of InP Substrate Using Self-Organized Spheres as Mask (2010)
  • 著者名/発表者名: T.Yokoyama, H.Asoh, S.Ono
  • 雑誌名: Phys.Status Solidi A 207 ページ: 943-946
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effect of Noble Metal Catalyst Species on the Morphology of Macroporous Silicon Formed by Metal-Assisted Chemical Etching (2009)
  • 著者名/発表者名: H.Asoh, F.Arai, S.Ono
  • 雑誌名: Electrochimica Acta 54 ページ: 5142-5148
  • 査読あり
• [雑誌論文] Structural Features of Anodic Oxide Films Formed on Aluminum Substrate Coated with Self-Assembled Microspheres (2009)
  • 著者名/発表者名: H.Asoh, K.Uchibori, S.Ono
  • 雑誌名: Corrosion Science 51 ページ: 1496-1500
  • 査読あり
• [学会発表] ナノ・マイクロ複合周期を持つアノード酸化ポーラスアルミナの作製 (2010)
  • 著者名/発表者名: 阿相英孝, 小野幸子
  • 学会等名: 表面技術協会第122回講演大会 講演要旨集p.99
  • 発表場所: 東北大学,宮城
  • 年月日: 2010-09-06
• [学会発表] 構造制御したアノード酸化アルミナメンブレンの作製 (2010)
  • 著者名/発表者名: 阿相英孝, 小野幸子
  • 学会等名: 表面技術協会・ライトメタル表面技術部会第30回表面技術協会ライトメタル・サマーセミナー(依頼講演)講演予稿集p.25-28
  • 発表場所: 工学院大学,東京
  • 年月日: 2010-07-27
• [学会発表] Morphology of Anodic Alumina Films Formed on Aluminum Substrate Coated with Self-Assembled Polystyrene Spheres (2009)
  • 著者名/発表者名: H.Asoh, S.Ono
  • 学会等名: The 1st Joint Symposium between Kogakuin University and Institute of Chemistry, Chinese Academy of Science (KU-ICCAS ; JS1-2009) Abstracts p.33
  • 発表場所: Tokyo, Japan
  • 年月日: 2009-12-10
• [学会発表] 局所アノード酸化による規則パターンの形成とマイクロ・ナノ加工技術への応用 (2009)
  • 著者名/発表者名: 阿相英孝, 小野幸子
  • 学会等名: 金属のアノード酸化皮膜の機能化部会第73回例会(依頼講演) 講演予稿集p.10-22
  • 発表場所: 工学院大学,東京
  • 年月日: 2009-10-01
• [学会発表] Micro-Patterning of Semiconductors by Metal-Assisted Chemical Etching through Self-Assembled Colloidal Spheres (Invited lecture) (2009)
  • 著者名/発表者名: S.Ono, H.Asoh
  • 学会等名: 215th Meeting of the Electrochemical Society Abstracts No.917
  • 発表場所: San Francisco, USA(CD-ROM)
  • 年月日: 2009-05-28
• [学会発表] アノード酸化により形成したハニカム状酸化物マスクを介したアルミニウムの電解エッチング (2009)
  • 著者名/発表者名: 阿相英孝, 山口まみ, 小野幸子
  • 学会等名: 軽金属学会第116回春期大会 講演概要p.89-90
  • 発表場所: グランドホテル,登別
  • 年月日: 2009-05-22
• [図書] Handbook of Nanophysics : Functional Nanomaterials (Taylor & Francis Books, Inc. Chapter 28 p28-1-28-14)(分担執筆(K.Sattler編)) (2010)
  • 著者名/発表者名: H.Asoh, S.Ono
  • 総ページ数: 787
  • 出版者: Nanohole arrays on silicon