研究課題
若手研究(B)
アルミニウム表面に亀裂および剥離が生じない厚膜の窒化アルミニウム層の形成を可能とする窒化法を開発するとともに、窒化アルミニウムの形成に及ぼす合金元素の影響について検討した。この結果、アルミニウム中に含まれるシリコン元素および銅元素は窒化物の成長を抑制し、マグネシウム元素が窒化物の成長を促進させることを明らかにした。さらに、窒化物の成長は合金元素に影響を受けるだけでなく結晶組織にも大きく影響を受けることを明らかにした。
すべて 2010 2009
すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (6件)
Plasma Processes and Polymers Vol.6
ページ: 310-313
Vol.6
ページ: 287-290
journal of Plasma Fusion Research Series Vol.8
ページ: 1408-1411