2010 年度研究成果報告書

メソポーラス分離剤を用いた水酸化テトラメチルアンモニウムの分離回収プロセスの開発

研究課題

研究課題/領域番号	21760614
研究種目	若手研究(B)
配分区分	補助金
研究分野	化工物性・移動操作・単位操作
研究機関	北九州市立大学
研究代表者	西浜章平北九州市立大学, 国際環境工学部, 准教授 (00347668)
研究期間 (年度)	2009 – 2010
キーワード	イオン交換
研究概要	本研究では、吸着法を用いた半導体や液晶製造に用いられるフォトレジスト廃液からの水酸化テトラアメチルアンモニウムの低コストかつ省スペースな分離・回収プロセスについて、エンド・オブ・パイプ廃水処理が可能なシステムを確立することを目的としている。吸着剤としては、メソポーラスシリカの一種であるMCM-41を用いた。バッチ吸着法により、MCM-41によるTMAHの吸着特性を明らかにした。また、アルミナバインダーによりMCM-41を造粒し、カラム吸着法によるTMAH の分離回収法を確立した。