加速レンズ系による負の収差の制御技術に関する研究

2011 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21760709
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 原子力学
• 研究機関: 独立行政法人日本原子力研究開発機構
• 研究代表者: 大久保 猛 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 放射線高度利用施設部, 研究員 (40446456)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2011
• キーワード: 放射線工学 / ビーム科学

研究概要

ナノテク分野での微細加工ツールとして切望されているガスイオンナノビームの普及に不可欠な装置の小型化を実現すべく、加速レンズ系内に減速レンズを挿入することによってビーム径の縮小化に有効である収差を制御する技術を開発した。

研究成果

• [雑誌論文] Theoretical Approach Of The Reduction Of Chromatic And Spherical Aberrations In An Acceleration Lens System For Hundreds Of keV Gaseous Ion Nanobeam (2011)
  • 著者名/発表者名: T. Ohkubo, Y. Ishii and T. Kamiya
  • 雑誌名: AIP Conference Proceedings 巻: vol.1336 ページ: 176-180
  • DOI: DOI:10.1063/1.3586083
  • 査読あり
• [学会発表] ガスイオンナノビーム形成のための300kV小型装置の構築 (2011)
  • 著者名/発表者名: 大久保猛
  • 学会等名: 日本原子力学会2011年秋の大会
  • 発表場所: 福岡県北九州市
  • 年月日: 2011-09-21
• [学会発表] Theoretical Approach of the Reduction of Chromatic and Spherical Aberrations in an Acceleration Lens System for Gas-FIB to Form Gaseous Nanobeam (2010)
  • 著者名/発表者名: Takeru Ohkubo
  • 学会等名: 21st International Conference on the Application of Accelerators in Research and Industry(CAARI2010)
  • 発表場所: Fort Worth, Texas, USA
  • 年月日: 2010-08-10
• [学会発表] 300kV小型ガスイオンナノビーム形成装置のレンズ系開発 (2010)
  • 著者名/発表者名: 大久保猛
  • 学会等名: 日本物理学会第65回年次大会
  • 発表場所: 岡山大学
  • 年月日: 2010-03-21
• [学会発表] ガスイオンナノビーム形成装置小型化のための加速管一体型レンズ系開発 (2009)
  • 著者名/発表者名: 大久保猛
  • 学会等名: 日本原子力学会2009年秋の大会
  • 発表場所: 東北大学
  • 年月日: 2009-09-17