射出成形による高アスペクト比ナノ構造の高スループット生産技術と新規光学素子の開発

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21860015
• 研究種目: 研究活動スタート支援
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 長藤 圭介 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教 (50546231)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2010
• キーワード: 射出成形 / 高アスペクト比 / ナノ構造 / 生産技術 / 光学素子

研究概要

本研究では,高アスペクト比ナノ構造を短サイクルタイムで生産可能な射出成形システムの開発と,それを用いた新規光学素子,特に反射防止構造の成形を試みる.

研究成果

• [雑誌論文] Rapid injection molding of high-aspect-ratio nanostructures (2010)
  • 著者名/発表者名: S.Hattori, K.Nagato, T.Hamaguchi, M.Nakao
  • 雑誌名: Microelectron.Eng. 87 ページ: 1546-1549
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of antireflection-structured surface using vertical nanowires as an initial structure (2010)
  • 著者名/発表者名: K.Nagato, H.Moritani, T.Hamaguchi, M.Nakao
  • 雑誌名: J.Vac.Sci.Technol.B 28 ページ: L39-L42
  • 査読あり
• [雑誌論文] Direct synthesis of -Fe_2O_3 nanowires from sputtered thin film (2010)
  • 著者名/発表者名: K.Nagato, M.Furubayashi, T.Hamaguchi, M.Nakao
  • 雑誌名: J.Vac.Sci.Technol.B 28 ページ: C6P11-13
  • 査読あり
• [雑誌論文] Rapid thermal imprinting of high-aspect-ratio nanostructures by dynamic heating of mold surface (2010)
  • 著者名/発表者名: K.Nagato, S.Hattori, T.Hamguchi, M.Nakao
  • 雑誌名: J.Vac.Sci.Technol.B 28 ページ: C6M122-124
  • 査読あり
• [学会発表] 熱アシスト射出成形による高アスペクト比ナノ構造の転写 (2010)
  • 著者名/発表者名: 長藤圭介,服部俊太郎,光田健洋,濱口哲也,中尾政之
  • 学会等名: 2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 東海大学
  • 年月日: 20100317-20100320
• [学会発表] 熱アシスト射出成形を用いた高アスペクト比ナノ構造の転写 (2010)
  • 著者名/発表者名: 光田健洋,長藤圭介,服部俊太郎,濱口哲也,中尾政之
  • 学会等名: 精密工学会春季大会
  • 発表場所: 埼玉大学
  • 年月日: 20100316-20100318
• [学会発表] 射出成形を用いた高アスペクト比ナノ構造の転写 (2009)
  • 著者名/発表者名: 服部俊太郎,長藤圭介,濱口哲也,中尾政之
  • 学会等名: 第70回応用物理学会学術講演会(講演予稿集9a-D-4,p.642)
  • 発表場所: 富山大学
  • 年月日: 20090908-20090911
• [備考] ホームページ等
  • URL: http://hockey.t.u-tokyo.ac.jp/nagato/frameTop_j.html