研究課題
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TiO_2を用いたMIMキャパシタにおいて、ノンポーラ型の抵抗変化スイッチング動作を確認し、電圧印加による抵抗変化後、放射光を用いた光電子分光分析からPt/TiO_2界面での酸化・還元反応が抵抗変化動作に重要であることを明らかにした。また、TiO_2への元素添加が化学結合状態やエネルギーバンド構造に与える影響を評価し、TiO_2中へのY添加により動作電圧のばらつき改善など安定した抵抗変化動作を実現した。
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Japanese Journal of Applied Physics to be published.
Japanese Journal of Applied Physics 50 to be published.
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