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2023 年度 研究成果報告書

同時フィルタリングデュアル光コム非線形分光法によるトレーサブルな超精密角度計測

研究課題

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研究課題/領域番号 21H01222
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分18020:加工学および生産工学関連
研究機関東北大学

研究代表者

松隈 啓  東北大学, 工学研究科, 准教授 (90728370)

研究期間 (年度) 2021-04-01 – 2024-03-31
キーワード光周波数コム / デュアルコム分光 / 角度計測 / 自律校正
研究成果の概要

2021年度:光周波数コムの設計・製作.繰り返し周波数が可変の光周波数コムを新たに製作した.これはデュアルコム分光法において,繰り返し周波数を自由に設定できる法が実験を行いやすいためである.さらに,位相同期ループ制御により光周波数の安定化を行った.
2022年度:デュアルコム分光による角度計測.デュアルコム分光を光角度計測法に適用した.
2023年度:自律校正法の確立.2022年度までに達成したデュアルコム分光による角度計測法に対して自律校正法を確立した.

自由記述の分野

精密計測学

研究成果の学術的意義や社会的意義

角度は長さとともに物体の形状,運動を記述する基本的な幾何の要素である.精密加工システムの角度誤差測定,機械部品・光学部品等の形状計測,プローブ顕微鏡のたわみ角度測定など様々な生産・加工分野において角度の精密計測が必要となる.また,サブ100ピコメートル精度が求められる次世代生産においては,測定の信頼性を国家標準に照らして保証する体系(トレーサビリティ体系)の確立が求められる.本研究は,デュアルコム分光を用いて,長さの国家標準に対して,トレーサブルな角度計測を実現し,精密なものづくりに対して利用できる手法を提案した.ナノテクノロジーを支える手法を考案したことは十分に社会的意義があると考えている.

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公開日: 2025-01-30  

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