| 研究実績の概要 |
提案するコンセプトを実現するために ①刺入型マルチモーダルセンサの設計と試作，②マルチイオンイメージング技術の確立，③センサチップに集積可能な薄膜参照電極の開発 これら3つの技術課題を設定し，それぞれ以下のように取り組んだ。
①刺入型マルチモーダルセンサについては，イオン計測画素を32×128アレイ状に配置したイオンイメージセンサを試作した。このセンサをトマトの茎に刺入し，茎内の水素イオン濃度変化が動画として捉えられる事を実証した。また将来的なマルチモーダル化を視野に入れ，先のイオンイメージセンサとの集積化が可能な構成で，電気伝導度センサを設計，試作し，基礎特性の検証を行った。
②マルチイオンイメージング技術については，複数のイオン感応膜を市松状にパターニングしたセンサの作製方法を検討する。試作したセンサにより，複数イオンが共存する条件下でイオンイメージングを行い，同時測定が可能であることを実証した。
③薄膜参照電極については，原理検証用デバイスを設計，試作した。イオン計測用のISFETの近傍にAg, Ti, Au, Alで薄膜電極を形成し，これを参照電極として機能できるようにした。
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