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第1に，これまでだれも報告していない，零熱膨張ガラスのMEMS応用のための作製プロセス技術を開発した．シリコンとの陽極接合が可能であることやその条件は報告例が無い．また，反応性イオンエッチングによるマイクロメートルオーダーの微細加工技術についても，報告例がなく，今後のデバイス応用のための大きな知見が得られた．
第2に，開発した微細加工技術を用いてMEMS振動子を作製し，その振動特性から，支配的なエネルギー散逸機構を明らかにした．その結果，ZEROガラスは，熱弾性損失を無視できるほど小さくでき，弾性損失がエネルギー損失を支配することが明らかとなった．
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