• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2022 年度 実績報告書

低温成長による点欠陥密度の制御に基づくBi系Ⅲ-Ⅴ族半導体の発現機能の最大活用

研究課題

研究課題/領域番号 21H01829
研究機関広島大学

研究代表者

富永 依里子  広島大学, 先進理工系科学研究科(先), 准教授 (40634936)

研究分担者 石川 史太郎  北海道大学, 量子集積エレクトロニクス研究センター, 教授 (60456994)
上殿 明良  筑波大学, 数理物質系, 教授 (20213374)
研究期間 (年度) 2021-04-01 – 2024-03-31
キーワードBi系III-V族半導体半金属混晶 / 分子線エピタキシー法 / 低温成長 / 結晶欠陥 / 陽電子消滅法
研究実績の概要

当該年度、研究代表者(富永)は分担者(石川)と協力し、250℃でGaAs基板上に成長した厚み200 nmの低温成長InGaAsBiを分子線エピタキシー(MBE)法によって複数得た。これら試料のX線回折法とラザフォード後方散乱法による結晶学的特性の解析の結果、250℃という低温であってもInGaAsBi薄膜が得られることが確認できた。一方で、前年度に取り組んだ低温成長GaAsBiのラングミュアの吸着等温式に基づくMBE成長条件におけるV/III比を基に低温成長InGaAsBiのV/III比を設定しても、Bi原子がGaAsBiの場合と比べてInGaAsBi結晶内に取り込まれにくい傾向を示した。これもまた、ラングミュアの吸着等温式によって説明することができ、成長最表面のIn原子の存在がBi表面被覆率を減少させるために、InGaAsBi結晶内のBi組成がGaAsBiと同一V/III比では減少すると考えられる。今後は、最終目標としているテラヘルツ波発生検出用光伝導アンテナに適した禁制帯幅を実現するInとBi両組成が得られるよう、低温成長InGaAsBiのMBE成長条件を更に最適化する必要があることが明らかになった。また、分担者(石川)は、GaAsBiナノワイヤについて陽電子消滅測定にも有用となる高密度・大容量成長の技術基盤を構築することができた。

更に、分担者(上殿)は、昨年度代表者がMBE成長した厚さ2 μmの低温成長GaAsBiの空孔型点欠陥密度を陽電子消滅法を用いて測定した。Bi組成が3%未満の範囲では、Bi組成が試料ごとに異なる低温成長GaAsBiの空孔型点欠陥密度に現時点では大きな差がないことが明らかになった。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

低温成長InGaAsBiの基礎特性評価まで進んだこと、陽電子消滅法による空孔型点欠陥に関する測定ができたこと、更に、公開文書のためここでは詳細は割愛するが、GaAs基板上のInAsBi量子ドットの実現に向けた成果も得られたため、当初研究目的に対し、順調に研究が進展していると判断した。

今後の研究の推進方策

最終年度は、光通信帯光源が利用可能なテラヘルツ(THz)波発生検出用光伝導アンテナ(PCA)の特性に適したInとBi組成を満たす低温成長InGaAsBiを得て、PCAの作製を行う。そのTHz波発生検出特性から、低温成長InGaAsBiが当該デバイスに適していることを実証する。また、GaAs基板上のInAsBi量子ドットの発光の検出も行い、その温度特性を測定することで、動作特性が温度に依存しない半導体レーザの実現に向けた足がかりを得ることも最終年度の目的とする。基礎特性の解明の観点からは、低温成長したGaAsBiやInGaAsBiの結晶内の点欠陥が電気的に中性であるのか、イオン化しているのか等を考察検討したい。

  • 研究成果

    (15件)

すべて 2023 2022 その他

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (12件) (うち国際学会 2件、 招待講演 3件) 備考 (2件)

  • [雑誌論文] Structural evaluation of GaAs1-xBix obtained by solid-phase epitaxial growth of amorphous GaAs1-xBix thin films deposited on (0 0 1) GaAs substrates2023

    • 著者名/発表者名
      Ueda Osamu、Ikenaga Noriaki、Horita Yukihiro、Takagaki Yuto、Nishiyama Fumitaka、Yukimune Mitsuki、Ishikawa Fumitaro、Tominaga Yoriko
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: 601 ページ: 126945~126945

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2022.126945

    • 査読あり
  • [学会発表] (001)GaAs基板上のGaAs1-xBix薄膜の構造評価(1) 熱処理した低温成長GaAs1-xBix薄膜中の欠陥のTEM評価2023

    • 著者名/発表者名
      上田修、池永訓昭、堀田行紘、高垣佑斗、西山文隆、行宗詳規、石川史太郎、富永依里子
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] (001)GaAs基板上のGaAs1-xBix薄膜の構造評価(2) 固相成長したGaAs1-xBix薄膜中の欠陥のTEM評価2023

    • 著者名/発表者名
      上田修、池永訓昭、堀田行紘、高垣佑斗、西山文隆、行宗詳規、石川史太郎、富永依里子
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] 様々な結晶成長 -Bi系III-V族半導体半金属混晶の分子線エピタキシャル成長から細菌を用いたGaAs系III-V族化合物半導体混晶まで-2023

    • 著者名/発表者名
      富永依里子
    • 学会等名
      2022年度 新結晶成長学シンポジウム
    • 招待講演
  • [学会発表] 化合物半導体結晶はいかに紡ぎ出されるのか-超高真空中と細菌からと-そしてその応用展開2023

    • 著者名/発表者名
      富永依里子
    • 学会等名
      日本学術会議結晶学分科会、同IUCr分科会主催 公開WEBシンポジウム『基礎科学が導くSDGs達成への道 ~結晶&生命&技術革新~』
    • 招待講演
  • [学会発表] MBE法を用いた無加工2インチ Si 基板上 GaInNAs ナノワイヤ成長2023

    • 著者名/発表者名
      峰久 恵輔, 橋本 英季, 中間 海音, 谷川 武瑠, 行宗 詳規, 石川 史太郎
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] V/III atomic ratio during molecular beam epitaxial growth of dilute bismide III-V compound semiconductors at low temperatures2022

    • 著者名/発表者名
      Yoriko Tominaga
    • 学会等名
      The 5th International Union of Materials Research Societies International Conference of Young Researchers on Advanced Materials (IUMRS-ICYRAM2022)
    • 国際学会
  • [学会発表] 低温成長GaAs1-xBixのホッピング伝導機構の解析2022

    • 著者名/発表者名
      原田南斗、梅西達哉、香西優作、富永依里子、行宗詳規、石川史太郎、梶川靖友
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] 低温成長GaAs1-xBixの光信号応答時間のBi組成依存性2022

    • 著者名/発表者名
      齋藤聖哉, 梅西達哉, 原田南斗, 香西優作, 富永依里子, 行宗詳規, 石川史太郎, 小島磨
    • 学会等名
      第41回電子材料シンポジウム(EMS-41)
  • [学会発表] Internal Photoemission Characterization for Low-Temperature-Grown GaAsBi Layers2022

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Imabayashi, Minato Umeda, Kenji Shiojima, Tatsuya Umenishi, Yoriko Tominaga, Mitsuki Yukimune, Fumitaro Ishikawa, and Osamu Ueda
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference 2022, 31st Asian Session (ADMETA plus)
    • 国際学会
  • [学会発表] MBE研究で続けてきたこと2022

    • 著者名/発表者名
      石川史太郎
    • 学会等名
      第4回電子材料若手交流会(ISYSE) 研究会
    • 招待講演
  • [学会発表] 2 inch Wafer Scale GaAs Nanowires Synthesis by Self-Catalyzed Molecular Beam Epitaxy2022

    • 著者名/発表者名
      K. Minehisa, H. Hashimoto, K. Nakama, T. Tanigawa, K. Sakaguchi, M. Yukimune, and F. Ishikawa
    • 学会等名
      第41回電子材料シンポジウム(EMS-41)
  • [学会発表] 無加工2インチSi基板上GaInNAsナノワイヤの分子線エピタキシャル成長2022

    • 著者名/発表者名
      峰久恵輔, 橋本英季, 中間海音, 谷川武瑠, 行宗詳規, 石川史太郎
    • 学会等名
      第 14 回ナノ構造エピタキシャル成長講演会
  • [備考] 広島大学 研究者総覧:富永依里子

    • URL

      https://seeds.office.hiroshima-u.ac.jp/profile/ja.9797704fc927298d520e17560c007669.html

  • [備考] Yoriko Tominaga personal website

    • URL

      https://sites.google.com/view/yorikotominaga-crystalg/home

URL: 

公開日: 2023-12-25  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi