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2023 年度 実績報告書

高圧高温熱処理による高品質インジウム系窒化物半導体の創製と熱電素子応用

研究課題

研究課題/領域番号 21H01831
研究機関立命館大学

研究代表者

荒木 努  立命館大学, 理工学部, 教授 (20312126)

研究分担者 毛利 真一郎  立命館大学, 理工学部, 准教授 (60516037)
研究期間 (年度) 2021-04-01 – 2024-03-31
キーワード半導体 / 結晶成長 / 分子線エピタキシー / 窒化インジウム / TEM
研究実績の概要

本研究課題の目的は、RF-MBE法を用いて作成したInN結晶を高温・高圧熱処理によって、さらなる結晶品質の改善を実現し、そのメカニズム構築とデバイス応用へ向けた基盤技術を開発することにある。課題3年目は、①RF-MBE成長DERI法を用いたInN成長時の初期成長機構の解明と②高温・高圧熱処理を施したInNの評価を行った。
①RF-MBE成長DERI法を用いたInN成長時の初期成長機構の解明
GaNテンプレート中の転位種類判別を行った結果、異常成長領域はらせん転位が起点となり、Inドロップレットが影響して形成されると考えられる。らせん転位が存在するGaNテンプレート表面には原子ステップが形成され、これに余剰Inが集まりInドロップレットが成長する。Inドロップレットが大きくなると、結晶成長に影響を与え異常成長領域が形成される。Reyesらの研究によれば、GaドロップレットによるGaAsナノ構造形成はWicking、Crystallization、Nucleationの3つのプロセスが関与する。ZhengらはInGaN結晶成長中に発生したInドロップレットがリング状に成長することを報告している。これらの知見から、Inドロップレットがらせん転位を起点として成長し、異常成長領域を形成する過程をモデル化した。
②高温・高圧熱処理を施したInNの評価
MBE結晶成長装置のプラズマ源修理により、新たな高温・高圧熱処理実験を行うことができなかったため、2年目に量子科学技術研究開発機構SPring8内にて熱処理を行ったInNサンプルの評価を引き続き進めた。TEM観察の結果、熱処理後にInN薄膜のGaNテンプレート界面からの剥離が確認されていた。観察領域においては、InN中に発生している貫通転位の融合による転位密度減少などの効果は見いだせなかった。

現在までの達成度 (段落)

令和5年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

令和5年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (26件)

すべて 2024 2023

すべて 雑誌論文 (7件) (うち査読あり 7件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (19件) (うち国際学会 6件)

  • [雑誌論文] Suppression of Mixing of Metastable Zincblende Phase in GaN Crystal Grown on ScAlMgO4 Substrates by Radio‐Frequency Plasma‐Assisted Molecular Beam Epitaxy2024

    • 著者名/発表者名
      Deura Momoko、Wada Yuichi、Fujii Takashi、Araki Tsutomu
    • 雑誌名

      physica status solidi (b)

      巻: 261 ページ: 2400047

    • DOI

      10.1002/pssb.202400047

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] 原子層モアレ超格子系におけるフォノン物性制御2024

    • 著者名/発表者名
      毛利真一郎、荒木努
    • 雑誌名

      応用物理

      巻: 94 ページ: 174-177

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Substrate Terrace Width Dependence of Direct Growth of GaN on ScAlMgO<sub>4</sub> by Radio‐Frequency Molecular Beam Epitaxy2023

    • 著者名/発表者名
      Wada Yuichi、Deura Momoko、Kuroda Yuya、Goto Naoki、Kayamoto Seiya、Fujii Takashi、Mouri Shinichiro、Araki Tsutomu
    • 雑誌名

      physica status solidi (b)

      巻: 260 ページ: 2300029

    • DOI

      10.1002/pssb.202300029

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Control of Metal‐Rich Growth for GaN/AlN Superlattice Fabrication on Face‐to‐Face‐Annealed Sputter‐Deposited AlN Templates2023

    • 著者名/発表者名
      Mokutani Naoya、Deura Momoko、Mouri Shinichiro、Shojiki Kanako、Xiao Shiyu、Miyake Hideto、Araki Tsutomu
    • 雑誌名

      physica status solidi (b)

      巻: 260 ページ: 230061

    • DOI

      10.1002/pssb.202300061

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Influence of HCl concentration in source solution and growth temperature on formation of α-Ga2O3 film via mist-CVD process2023

    • 著者名/発表者名
      Wakamatsu Takeru、Takane Hitoshi、Kaneko Kentaro、Araki Tsutomu、Tanaka Katsuhisa
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 ページ: SF1024~SF1024

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acc9cf

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 分子線エピタキシー法を用いた窒化物半導体結晶成長の最前線2023

    • 著者名/発表者名
      荒木努,出浦桃子,藤井高志,毛利真一郎
    • 雑誌名

      応用物理

      巻: 92 ページ: 622-626

    • 査読あり
  • [雑誌論文] RF-MBE法によるScAlMgO4基板上窒化物半導体の結晶成長と評価2023

    • 著者名/発表者名
      荒木努, 出浦桃子, 藤井高志
    • 雑誌名

      材料

      巻: 72 ページ: 689-694

    • DOI

      10.2472/jsms.72.689

    • 査読あり
  • [学会発表] RF-MBE法を用いた低温AlN結晶成長に関する研究2024

    • 著者名/発表者名
      河上結馬, 出浦桃子, 荒木努
    • 学会等名
      令和5年度日本材料学会半導体エレクトロニクス部門委員会第3回研究会
  • [学会発表] 低転位密度AlNテンプレート基板上へのAlGaNのRF-MBE成長2024

    • 著者名/発表者名
      笠井 遼太郎、田中 練、出浦 桃子、漆山 真、赤池 良太、中村 孝夫、三宅 秀人、荒木 努
    • 学会等名
      2024年春季第71回応用物理学会学術講演会
  • [学会発表] InAlN熱電薄膜のRF-MBEにおける成長温度依存性2024

    • 著者名/発表者名
      服部 翔太、荒木 努、出浦 桃子
    • 学会等名
      2024年春季第71回応用物理学会学術講演会
  • [学会発表] InAlNのRF-MBE成長における原料フラックス依存性2023

    • 著者名/発表者名
      服部 翔太, 荒木 努, 出浦 桃子
    • 学会等名
      第15回ナノ構造エピタキシャル成長講演会
  • [学会発表] ScAlMgO4基板上InGaNのRF-MBE成長におけるIn組成の成長温度依存性2023

    • 著者名/発表者名
      久保 祐太, 山田 泰弘, 後藤 直樹, 出浦 桃子, 藤井 高志, 荒木 努
    • 学会等名
      第15回ナノ構造エピタキシャル成長講演会
  • [学会発表] ScAlMgO4基板上RF-MBE成長InGaN薄膜の極微構造評価2023

    • 著者名/発表者名
      山田泰弘, 久保祐太, 和田邑一, 出浦桃子, 藤井高志, 荒木努
    • 学会等名
      2023年秋季第84回応用物理学会学術講演会
  • [学会発表] RF-MBE法を用いた低温AIN成長のAI/N比依存性2023

    • 著者名/発表者名
      河上結馬, 荒木努, 出浦桃子
    • 学会等名
      2023年秋季第84回応用物理学会学術講演会
  • [学会発表] InAlN熱電薄膜のRF-MBE成長2023

    • 著者名/発表者名
      服部 翔太, 荒木 努, 出浦 桃子
    • 学会等名
      2023年秋季第84回応用物理学会学術講演会
  • [学会発表] InGaN熱電薄膜の結晶成長と特性評価2023

    • 著者名/発表者名
      出浦 桃子, 服部 翔太, 荒木 努
    • 学会等名
      2023年秋季第84回応用物理学会学術講演会
  • [学会発表] ScAlMgO4基板上InGaNのRF-MBE成長におけるIn組成制御2023

    • 著者名/発表者名
      出浦 桃子, 久保 祐太, 山田 泰弘, 藤井 高志, 荒木 努
    • 学会等名
      2023年秋季第84回応用物理学会学術講演会
  • [学会発表] Study on Al/N ratio dependence of low-temperature AlN growth using RF-MBE2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Kawakami, Y. Yamada, M. Deura, T. Araki
    • 学会等名
      第 42 回電子材料シンポジウム(EMS-42)
  • [学会発表] RF-MBE and characterization of InGaN and InAlN thermoelectric films2023

    • 著者名/発表者名
      S. Hattori, M. Deura, T. Araki
    • 学会等名
      第 42 回電子材料シンポジウム(EMS-42)
  • [学会発表] RF-MBE法によるp型GaN実現に向けた成長条件の検討2023

    • 著者名/発表者名
      榊原匠海, 出浦桃子, 荒木努
    • 学会等名
      第52回結晶成長国内会議(JCCG-52)
  • [学会発表] RF-MBE Growth of GaN on ScAlMgO4 Substrate2023

    • 著者名/発表者名
      T. Araki, Y. Wada, Y. Kuroda, S. Kayamoto, N. Goto, M. Deura, T. Fuji, Y. Shiraishi, T. Fukuda
    • 学会等名
      23rd American Conference on Crystal Growth(ACCGE-23)
    • 国際学会
  • [学会発表] Suppression of Metastable Cubic Phase Inclusion in GaN Growth on ScAlMgO4 Substrates by RF-MBE2023

    • 著者名/発表者名
      T. Araki, Y. Wada, Y. Kuroda, N. Goto, Y. Kubo, M. Deura, S. Mouri, T. Fujii
    • 学会等名
      14th International Conference on Nitride Semiconductors(ICNS-14)
    • 国際学会
  • [学会発表] RF-MBE growth and characterization of InGaN thermoelectric thin film2023

    • 著者名/発表者名
      M. Deura, S. Hattori, T. Araki
    • 学会等名
      14th International Conference on Nitride Semiconductors(ICNS-14)
    • 国際学会
  • [学会発表] RF-MBE growth of InAlN thermoelectric thin film2023

    • 著者名/発表者名
      S. Hattori, T. Araki, M. Deura
    • 学会等名
      14th International Conference on Nitride Semiconductors(ICNS-14)
    • 国際学会
  • [学会発表] AI/N Ratio Dependence of Low Temperature AlN Growth by RF-MBE2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Kawakami, Y. Yamada, M. Deura, T. Araki
    • 学会等名
      14th International Conference on Nitride Semiconductors(ICNS-14)
    • 国際学会
  • [学会発表] Control of In content in InGaN on ScAlMgO4 substrates using RF-MBE2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Kubo, Y. Yamada, M. Deura, T. Fujii, T. Araki
    • 学会等名
      14th International Conference on Nitride Semiconductors(ICNS-14)
    • 国際学会

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公開日: 2024-12-25  

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