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2023 年度 研究成果報告書

自己触媒成長技術によるシリコン基板上新規ナノワイヤ構造・レーザーデバイスの創出

研究課題

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研究課題/領域番号 21H01834
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分30010:結晶工学関連
研究機関日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所

研究代表者

章 国強  日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所, フロンティア機能物性研究部, 主任研究員 (90402247)

研究分担者 俵 毅彦  日本大学, 工学部, 教授 (40393798)
日比野 浩樹  関西学院大学, 工学部, 教授 (60393740)
徐 学俊  日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所, フロンティア機能物性研究部, 主任研究員 (80593334)
滝口 雅人  日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所, ナノフォトニクスセンタ, 主任研究員 (90728205)
研究期間 (年度) 2021-04-01 – 2024-03-31
キーワード化合物半導体 / 異種接合 / ナノワイヤ / 歪 / InP / レーザ / フォトニック結晶 / 発光ダイオード
研究成果の概要

本研究課題は以下の研究成果が有る:①通信波長帯のナノワイヤレーザ発振の熱影響の解明;②自己触媒法bottom-upナノワイヤにFIB法でフォトニック結晶構造加工に成功;③自己組織化によってSi(111)基板上の触媒インジウム微粒子の配列制御技術確立・Si基板上にInPナノワイヤのエピタキシャル成長モードの直径依存性の解明;④<111>A方位を持つ高品質なInPナノワイヤ配列作製技術の確立;⑤InP/InAsナノワイヤヘテロ構造の界面特性・格子変形メカニズムの解明;⑥InP/InAsナノワイヤ発光ダイオードの電気特性の改善.

自由記述の分野

結晶成長

研究成果の学術的意義や社会的意義

従来の2次元膜構造に対し、1次元ナノワイヤ構造は,格子不整合系においても高品質な結晶成長が可能な点に強い特徴がある.しかし,界面特性・格子変形を完全に解明する必要がある.SPring-8放射光と透過型電子顕微鏡を用いて格子界面の状態や歪緩和のメカニズムを解明することに成功した.これらの界面特性に関する研究は,高性能レーザーデバイス実現に非常に重要であるだけでなく,格子不整合系の歪緩和の新しい知見に繋がり,学術にも大きく貢献するものである.

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公開日: 2025-01-30  

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