| 研究課題/領域番号 |
21H01841
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| 研究機関 | 横浜国立大学 |
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研究代表者 |
荒川 太郎 横浜国立大学, 大学院工学研究院, 教授 (40293170)
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| 研究分担者 |
村田 博司 三重大学, 工学研究科, 教授 (20239528)
國分 泰雄 ものつくり大学, その他の部局, 学長 (60134839)
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| 研究期間 (年度) |
2021-04-01 – 2024-03-31
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| キーワード | 光変調器 / 光無線システム / アンテナ / 半導体 |
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| 研究実績の概要 |
本研究では、次世代光ファイバー無線（RoF）システム実現のキーデバイスとなる超低電界動作アンテナ集積型半導体器光変調器を開発し、動作実証することを目的としている。
今年度は、半絶縁性InP基板上にアレイアンテナ集積直線導波路型位相変調器を作製し、その動作特性を評価した。コア層の五層非対称結合量子井戸は、本デバイスの動作電界領域を考慮して新たに設計した。エピタキシャルウエハの成長には分子線エピタキシー法を用い、情報通信研究機構に作製を依頼した。次に、電子ビーム露光法および誘導結合プラズマドライエッチング法を用いて、直線導波路構造を有する位相変調器を作製し、上部にアレイアンテナを形成した。アンテナは有限要素法解析を用いて設計し、60 GHzの無線信号に強く共振するように設計した。 平面アンテナ中央部分に微小なギャップを設けており、 このギャップ直下にはpin 接合を有する五層非対称結合量子井戸光導波路が形成されている。 この構造により無線ミリ波信号受信時にその共振電界がギャップ部で増幅され、その電界が直下の導波路に垂直に印加される。その結果、五層非対称結合量子井戸の量子閉じ込めシュタルク効果により屈折率変化を生じ位相変調を実現した。
作製したデバイスの電波受信特性および位相変調特性を評価した。ミリ波信号をデバイス上部から60.0GHz無線ミリ波信号を照射し、搬送光(波長1550nm)を変調し、受信電波により光変調が実現できていることが確認された。CSR (Carrer Sideband Ratio)は約46 dBでn型InP基板を用いた先行デバイスと比較して約14 dBの大幅な特性向上を得た。さらに、60GHz無線信号の復調実験にも成功した。
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| 現在までの達成度 (段落) |
令和5年度が最終年度であるため、記入しない。
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| 今後の研究の推進方策 |
令和5年度が最終年度であるため、記入しない。
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