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2022 年度 実績報告書

グラフェンディラックプラズモンの時空間対称性操作とそのテラヘルツレーザへの応用

研究課題

研究課題/領域番号 21H04546
研究機関東北大学

研究代表者

尾辻 泰一  東北大学, 電気通信研究所, 教授 (40315172)

研究分担者 佐藤 昭  東北大学, 電気通信研究所, 准教授 (70510410)
吹留 博一  東北大学, 電気通信研究所, 准教授 (10342841)
楢原 浩一  神奈川工科大学, 工学部, 教授 (00422171)
Maxim・V Ryzhii  会津大学, コンピュータ理工学部, 上級准教授 (50254082)
研究期間 (年度) 2021-04-05 – 2026-03-31
キーワードグラフェン / ディラックプラズモン / パリティ・時間反転対称性 / テラヘルツ / レーザ
研究実績の概要

1. GDPメタ表面のPT 対称性のモデル化 (担当:分担者 楢原,佐藤,Ryzhii,代表者 尾辻)
・ADGG構造内のGDPメタ表面を電気格子とみなし,GDP波長に比して十分に短い空間セル分解能でGDP伝搬モード毎に損失・利得特性を等価回路化した散乱行列の多次元化を進めた.代表的なADGG構造・物性パラメータにおいてモード間結合を伴う正常応答を確認した.今後、構築した多次元散乱行列による数値解析法の種々のADGG構造・物性パラメータに対する汎用性を検証してゆく. 更に、上記伝送線路モデルと既開発の電磁界解析ツールを用いてADGG-GDP共振特性(モード周波数,Q値)とPT対称性との相関の解明を進めた,PT対称となる特異点は利得と損失が拮抗する動作点で発現することを確認できた。今後、ADGGの構造・物性パラメータに対する高速利得変調特性の相関と性能限界に対する見通しを得る.
2. ADGG-GFET内GDPの不安定状態におけるミクロスコピックなPT 対称性の解明と,超高速利得変調動作の原理検証 (担当:代表者 尾辻,分担者 吹留,佐藤;研究協力:松田(東大))
・デバイス試作プロセスは,東北大学電気通信研究所附属ナノ・スピン実験施設設備を利用して実施した.(担当:分担者 佐藤,吹留,代表者 尾辻)
・電圧印加状態での非平衡GDPダイナミクスをナノ空間分解能と100フェムト秒の時間分解能で直接観測可能な研究分担者:吹留,松田らが開発したオペランド時間・空間分解X線光電子分光装置を用いて観測する実験を進めた.(担当:分担者 吹留; 研究協力:松田(東大))更に、超高速利得変調動作実験の準備を進めたが、2022.3.16に発生した宮城県沖地震により研究代表者所有のTHz時間領域分光装置が損壊し中断した.政府補償による代替装置購入の目途が立ち、2023年度には実験再開できる見込みである.

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

理由
以下の通り,いずれの研究課題においても計画通りに順調に進展している.
1. GDPメタ表面のPT 対称性のモデル化 (担当:分担者 楢原,佐藤,Ryzhii,代表者 尾辻) : 計画通りに順調に進展している.
2. ADGG-GFET内GDPの不安定状態におけるミクロスコピックなPT 対称性の解明と,超高速利得変調動作の原理検証 (担当:代表者 尾辻,分担者 吹留,佐藤;
研究協力:松田(東大)): 一部の実験(2022.3.16に発生した宮城県沖地震で損壊した研究代表者所有THz時間領域分光装置を用いる高速変調動作観測実験)を除いては計画通りに順調に進展している.また、地震により中断した当該実験も2023年度に再開の見通しが得られている.

今後の研究の推進方策

1. GDPメタ表面のPT 対称性のモデル化 (担当:分担者 楢原,佐藤,Ryzhii,代表者 尾辻)
・構築した多次元散乱行列による数値解析法の種々のADGG構造・物性パラメータに対する汎用性を検証してゆく.更に、ADGGの構造・物性パラメータに対する高速利得変調特性の相関と性能限界に対する見通しを得る.
2. ADGG-GFET内GDPの不安定状態におけるミクロスコピックなPT 対称性の解明と,超高速利得変調動作の原理検証 (担当:代表者 尾辻,分担者 吹留,佐藤;研究協力:松田(東大))
・ADGG-GFETのPT対称性をゲートおよびドレインバイアスによって電気的に操作し,GDPの利得と共振器端反射係数を高速かつ能動的に変調することによって,レーザ発振の高速ON/OFF制御が可能であることを実証する.実験には、政府調達による補償で2022.3.16の地震で損壊した装置の代替購入の目途が立ったTHz時間・周波数領域分光装置を用いる.

  • 研究成果

    (51件)

すべて 2023 2022 その他

すべて 国際共同研究 (4件) 雑誌論文 (14件) (うち国際共著 5件、 査読あり 13件、 オープンアクセス 6件) 学会発表 (30件) (うち国際学会 16件、 招待講演 16件) 備考 (1件) 産業財産権 (2件) (うち外国 1件)

  • [国際共同研究] レンセラー工科大学/ニューヨーク州立大学バッファロー校/ライス大学(米国)

    • 国名
      米国
    • 外国機関名
      レンセラー工科大学/ニューヨーク州立大学バッファロー校/ライス大学
  • [国際共同研究] サラマンカ大学(スペイン)

    • 国名
      スペイン
    • 外国機関名
      サラマンカ大学
  • [国際共同研究] 国立高圧物理学研究所/ワルシャワ大学(ポーランド)

    • 国名
      ポーランド
    • 外国機関名
      国立高圧物理学研究所/ワルシャワ大学
  • [国際共同研究] モンペリエ大学/国立中央研究センター(フランス)

    • 国名
      フランス
    • 外国機関名
      モンペリエ大学/国立中央研究センター
  • [雑誌論文] Self-excitation of Terahertz Plasmons in Graphene FETs Enabled by Transit-time Negative Dynamic Conductance2023

    • 著者名/発表者名
      M. Ryzhii, V. Ryzhii, T. Otsuji, V. Mitin and M. S. Shur
    • 雑誌名

      2023 International Conference for Advancement in Technology (ICONAT)

      巻: 1 ページ: 1-5

    • DOI

      10.1109/ICONAT57137.2023.10080743

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Dynamics of topological defects in a tunnel-diode oscillator lattice loop2023

    • 著者名/発表者名
      K. Narahara
    • 雑誌名

      J. Phys. Soc. Jpn.

      巻: 92 ページ: 034402 1-10

    • DOI

      10.7566/JPSJ.92.034402

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Controlling the PT symmetry of Dirac plasmons in dual-grating-gate graphene THz laser transistors for ultrafast gain switching2022

    • 著者名/発表者名
      Taiichi Otsuji, Akira Satou, Hirokazu Fukidome, Maxim Ryzhii, Victor Ryzhii, and Koichi Narahara
    • 雑誌名

      CLEO: Conference on Lasers and Electro-Optics.

      巻: 1 ページ: 1-2

    • DOI

      10.1364/CLEO_AT.2022.JTh3B.10

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Discovery of Coulomb-Drag Instability of Graphene Dirac Plasmons2022

    • 著者名/発表者名
      Victor Ryzhii, Maxim Ryzhii, Akira Satou, Vladimir Mitin, Michael Shur, and Taiichi Otsuji
    • 雑誌名

      IRMMW-THz: the 47th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves.

      巻: 1 ページ: 1-2

    • DOI

      10.1109/IRMMW-THz50927.2022.9966853

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Resonant plasmonic terahertz detection in gated graphene p-i-n field-effect structures enabled by nonlinearity from Zener-Klein tunneling2022

    • 著者名/発表者名
      V. Ryzhii, T. Otsuji, M. Ryzhii, V. Mitin, and M.S. Shur
    • 雑誌名

      Phys. Rev. Appl.

      巻: 18 ページ: 034022-1-12

    • DOI

      10.1103/PhysRevApplied.18.034022

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Transit-time resonances enabling amplification and generation of terahertz radiation in periodic graphene p-i-n structures with the Zener-Klein interband tunneling2022

    • 著者名/発表者名
      V. Ryzhii, M. Ryzhii, V. Mitin, M.S. Shur, and T Otsuji
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.

      巻: 132 ページ: 184504-1-13

    • DOI

      10.1063/5.0124086

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Ultrafast terahertz transparency boosting in graphene meta-cavities2022

    • 著者名/発表者名
      Lan Wang, Ning An, Sen Gong, Xuan Sheng, Yiwei Li, Baicheng Yao, CuiYu, Zezhao He, Qingbin Liu, Zhihong Feng, Taiichi Otsuji, and Yaxin Zhang
    • 雑誌名

      Nanophotonics

      巻: 11 ページ: 4899-4907

    • DOI

      10.1515/nanoph-2022-0511

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Trends and future prospects in the research of graphene plasmonic THz devices (in Japanese)2022

    • 著者名/発表者名
      Taiichi Otsuji
    • 雑誌名

      IEICE Transactions on Electronics

      巻: J105-C ページ: 358-366

    • DOI

      10.14923/transelej.2022JCI0007

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fast and sensitive terahertz detection in a current-driven epitaxial-graphene asymmetric dual-grating-gate FET structure (Featured article)2022

    • 著者名/発表者名
      K. Tamura, C. Tang, D. Ogiura, K. Suwa, H. Fukidome, Y. Takida, H. Minamide, T. Suemitsu, T. Otsuji, and A. Satou
    • 雑誌名

      APL Photon.

      巻: 7 ページ: 16101-1-10

    • DOI

      10.1063/5.0122305

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Enhanced oscillation frequency in series-connected resonant-tunneling diode-oscillator lattice loop2022

    • 著者名/発表者名
      K. Narahara, K. Maezawa
    • 雑誌名

      IEICE Trans. Electron.

      巻: - ページ: Early Online

    • DOI

      10.1587/transele.2022ECP5031

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Interaction of rotary pulses in a closed lattice of tunnel diode oscillators2022

    • 著者名/発表者名
      K. Narahara
    • 雑誌名

      Nonlinear Dyn.

      巻: 108 ページ: 2751-2765

    • DOI

      10.1007/s11071-022-07296-8

    • 査読あり
  • [雑誌論文] A frequency divider using interacting self-sustained pulses in a tunnel-diode-oscillator lattice2022

    • 著者名/発表者名
      K. Narahara
    • 雑誌名

      Int. J. Circ. Theor. Appl.

      巻: 50 ページ: 3266-3278

    • DOI

      10.1002/cta.3310

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Mutual synchronization of rotary pulses in coupled tunnel-diode oscillator lattice loops2022

    • 著者名/発表者名
      K. Narahara
    • 雑誌名

      Int. J. Circ. Theor. Appl.

      巻: 51 ページ: 1958-1969

    • DOI

      10.1002/cta.3526

    • 査読あり
  • [雑誌論文] オペランド・ナノX線分光を活用した次世代高周波デバイス研究2022

    • 著者名/発表者名
      吹留博一
    • 雑誌名

      信学技報

      巻: 122 ページ: 13-15

  • [学会発表] Self-excitation of Terahertz Plasmons in Graphene FETs Enabled by Transit-time Negative Dynamic Conductance2023

    • 著者名/発表者名
      M. Ryzhii, V. Ryzhii, T. Otsuji, V. Mitin and M. S. Shur
    • 学会等名
      2023 International Conference for Advancement in Technology (ICONAT), Goa, India, Jan. 24-26, 2023.
    • 国際学会
  • [学会発表] Beyond 5G超高速・超大容量無線通信システムのためのヘテロジニアス光電子融合技術2023

    • 著者名/発表者名
      尾辻泰一
    • 学会等名
      電子情報通信学会総合大会シンポジウム「Beyond5G/6Gに向けたミリ波・テラヘルツ波無線技術の研究開発最前線」, BCI-1-5, 芝浦工業大学大宮キャンパス, 埼玉県大宮市内, Mar. 7-10, 2023.
    • 招待講演
  • [学会発表] ラマン分光法の裏面適用によるプロセス中のグラフェン膜質評価2023

    • 著者名/発表者名
      関宏信,田村紘一, 唐超,吹留博一,佐藤昭,尾辻泰一
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会, 17a-B309-7, 上智大学四谷キャンパス, 東京, March 15-18, 2023.
  • [学会発表] 放射光を用いた先端デバイス・回路の研究開発と社会実装・国際標準化に向けた取り組み2023

    • 著者名/発表者名
      吹留博一
    • 学会等名
      第36回日本放射光学会, 立命館大学草津キャンパス, Jan. 7, 2023, (招待講演)
    • 招待講演
  • [学会発表] 二次元原子薄膜を用いた 超高周波デバイスの研究開発2023

    • 著者名/発表者名
      吹留博一
    • 学会等名
      未来ICTシンポジウム, 東京ビッグサイト, Feb. 1, 2023, (招待講演)
    • 招待講演
  • [学会発表] 単原子長ゲートによる低環境負荷物質から成る高出力THz帯増幅器の創出2023

    • 著者名/発表者名
      吹留博一
    • 学会等名
      テラヘルツ無線のB5G/6Gに向けての取り組み その2, Online, Feb. 27, 2023, (招待講演)
    • 招待講演
  • [学会発表] Controlling the PT symmetry of Dirac plasmons in dual-grating-gate graphene THz laser transistors for ultrafast gain switching2022

    • 著者名/発表者名
      Taiichi Otsuji, Akira Satou, Hirokazu Fukidome, Maxim Ryzhii, Victor Ryzhii, and Koichi Narahara
    • 学会等名
      CLEO: Conference on Lasers and Electro-Optics 2022, the San Jose McEnery Convention Center, San Jose, California, USA, May 15-20, 2022.
    • 国際学会
  • [学会発表] Controlling the PT symmetry of non-Hermitian graphene Dirac plasmons and its application to terahertz lasers2022

    • 著者名/発表者名
      T. Otsuji
    • 学会等名
      AES2022: the 8th Int. Conf. on Antennas and EM Systems Proc., vol. 1, p. 278, Marrakesh, Morocco, Hybrid, May 24-27, 2022. (invited)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Recent advances in the research of graphene plasmonic terahertz laser transistors2022

    • 著者名/発表者名
      T. Otsui, A. Satou, S.A. Boubanga-Tombet, H. Fukidome, M. Ryzhii, K. Narahara, V. Mitin, M.S. Shur, and V. Ryzhii
    • 学会等名
      241st ECS Meeting, Vancouver, BC, Canada, May 29 - June 2, 2022. (invited)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Controlling the parity and time-reversal symmetry of metasurfaces in current-driven graphene Dirac plasmons2022

    • 著者名/発表者名
      T. Otsuji
    • 学会等名
      CIMTEC: 15th International Ceramics Congress & 9th Forum on New Materials, Conference FF: Electromagnetic Metamaterials and Metasurfaces, Perugia, Italy, June 28-30, 2022 (invited)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Controlling the non-Hermitian graphene Dirac plasmons and its application to terahertz laser transistors2022

    • 著者名/発表者名
      T. Otsuji
    • 学会等名
      CLEO-PR: the 15th Pacific Rim Conference on Lasers and Electrooptics, CMP3B-01, Sapporo, Japan, July 31 - Aug. 5, 2022. (invited)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Asymmetric FET structure on graphene for terahertz applications2022

    • 著者名/発表者名
      C. Tang, K. Tamura, A. Satou, V. Ryzhii, and T. Otsuji
    • 学会等名
      TWHM: Topical Workshop on Heterostructure Microelectronics, Hiroshima, Aug. 29-30, 2022.
    • 国際学会
  • [学会発表] Discovery of Coulomb-Drag Instability of Graphene Dirac Plasmons2022

    • 著者名/発表者名
      Victor Ryzhii, Maxim Ryzhii, Akira Satou, Vladimir Mitin, Michael Shur, and Taiichi Otsuji
    • 学会等名
      IRMMW-THz: the 47th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves, We-PM2-1, Delft, Netherland, Aug. 28-Sept. 2, 2022.
    • 国際学会
  • [学会発表] グラフェンFETにおけるユニポーラ動作による光熱電型高速テラヘルツ検出の実現2022

    • 著者名/発表者名
      田村紘一, 唐超, 荻浦大地, 諏訪健斗, 吹留博一, 佐藤昭, 瀧田佑馬, 南出泰亜, 末光哲也, 尾辻泰一
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会予稿集, 21p-A202-6, 東北大学川内キャンパス, 仙台市, ハイブリッド, Sept. 21, 2022.
  • [学会発表] Single-asymmetric-gated graphene field-effect transistor for terahertz applications2022

    • 著者名/発表者名
      Chao Tang, Koichi Tamura, Akira Satou, Victor Ryzhii, Taiichi Otsuji
    • 学会等名
      SSDM: International Conference on Solid State Devices and Materials, J-3-03, Makuhari, Tokyo, Japan, Sept. 26-29, 2022.
    • 国際学会
  • [学会発表] Recent Advances in the Research of Graphene Plasmonic Terahertz Laser Transistors2022

    • 著者名/発表者名
      T. Otsuji
    • 学会等名
      APROPOS 18: the International Conference on Advanced Properties and Processes in Optoelectronic Materials and Systems, Vilnius, Lithuania, Oct. 5-7, 2022. (invited)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 半導体プラズモニック機能デバイスの創出とその次世代Beyond 5Gテラヘルツ無線通信への応用2022

    • 著者名/発表者名
      尾辻泰一
    • 学会等名
      応用物理学会薄膜・表面物理分科会主催 第51回薄膜・表面物理 基礎講座(2022)「Beyond 5Gと薄膜・表面物理の接点」, 慶応義塾大学日吉キャンパス, Oct. 31, 2022. (invited)
    • 招待講演
  • [学会発表] グラフェンを中心とする二次元材料によるプラズモニック光デバイスの新展開2022

    • 著者名/発表者名
      尾辻泰一
    • 学会等名
      (財)光産業技術振興協会主催光材料・応用技術研究会 第三回研究会「新材料が拓くフォトニックデバイス」, エクシブ琵琶湖研修室, 滋賀県米原市(ハイブリッド), Nov. 11, 2022. (invited)
    • 招待講演
  • [学会発表] A distributed model of the asymmetric-gated graphene Coulomb-drag-effect transistor for terahertz applications2022

    • 著者名/発表者名
      C. Tang, K. Tamura, A. Satou, V. Ryzhii, and T. Otsuji
    • 学会等名
      RPGR: Recent Progress on Graphene and related 2D materials Research International Conference, Taipei, Taiwan, Nov. 13-17, 2022.
    • 国際学会
  • [学会発表] Unipolar photothermoelectric THz detection assisted by Coulomb drift/diffusion of Dirac fermions in asymmetric dual-grating-gate graphene FETs2022

    • 著者名/発表者名
      K. Tamura, C. Tang, D. Ogiura, K. Suwa, H. Fukidome, Y. Takida, H. Minamide, T. Suemitsu, T. Otsuji, and A. Satou
    • 学会等名
      RPGR: Recent Progress on Graphene and related 2D materials Research International Conference, Taipei, Taiwan, Nov. 13-17, 2022.
    • 国際学会
  • [学会発表] Zener-Klein tunneling and transit-time effects in cascade periodic graphene p-i-n structures: amplification and emission of terahertz radiation2022

    • 著者名/発表者名
      V. Ryzhii, M. Ryzhii, V. Mitin, M.S. Shur, and T. Otsuji
    • 学会等名
      WINDS: the Workshop on Innovative Nanoscale Devices and Systems Abstracts Booklet, Th-AM1-7, Royal Sonesta Kaua(I Resort Lifue, Hawaii, USA, Dec. 4-9, 2022.
    • 国際学会
  • [学会発表] オペランド・ナノX線分光を活用した次世代高周波デバイス研究2022

    • 著者名/発表者名
      吹留博一
    • 学会等名
      MOSデバイス・メモリ・パワーデバイス高性能化-材料・プロセス技術, 名古屋大学VBL, Jun. 21, 2022, (招待講演)
    • 招待講演
  • [学会発表] 次世代高周波デバイス応用に向けた時空間オペランドX線分光計測2022

    • 著者名/発表者名
      吹留博一
    • 学会等名
      TIA光・量子計測MG研究会(第1回研究会), 茨城県つくば市, Sep. 1, 2022, (招待講演)
    • 招待講演
  • [学会発表] 物性の画像情報解析を活用した Beyond 5G デバイスの動作機構解明2022

    • 著者名/発表者名
      山本 うらん、杉野 秀明、佐藤 駿丞、増澤 賢、渡邊 一世、小嗣 真人、吹留 博一
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会, 東北大学川内キャンパス, 口頭発表, 22p-M206-16, Sep.22, 2022
  • [学会発表] SiC上に形成したグラフェンおよびAu/Tiから成るコプレーナ導波路の特性インピーダンスの評価2022

    • 著者名/発表者名
      石田 智也、佐々木 文憲、渡邊 一世、吹留 博一
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会, 東北大学川内キャンパス, 口頭発表, 22p-B202-14, Sep.22, 2022
  • [学会発表] SiC表面におけるh-BNへのグラフェンヘテロ成長2022

    • 著者名/発表者名
      小濱 路生、米窪 和輝、杉野 秀明、渡邊 一世、菅原 大樹、唐 超、佐藤 昭、尾辻 泰一、吹留 博一
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会, 東北大学川内キャンパス, 口頭発表, 23p-B202-10, Sep. 23, 2022
  • [学会発表] 機械学習を援用したグラフェンの顕微ラマンデータの自動解析法2022

    • 著者名/発表者名
      杉野 秀明、小濱 路生、山本 うらん、吹留 博一
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会, 東北大学川内キャンパス, ポスター発表, 21p-P12-16, Sep. 21, 2020
  • [学会発表] High performance graphene-based devices with an affordable cost by using a wafer bonding2022

    • 著者名/発表者名
      Hirokazu Fukidome
    • 学会等名
      2nd Global Conference on POLYMERS, PLASTICS AND COMPOSITES & 5th World CHEMISTRY CONFERENCE AND EXHIBITION (WCCE-2022 & PPC-2022), London/Online, Oct. 5, 2022, (invited)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Spatiotemporal dynamics of electronic properties of Beyond 5G devices observed by operando x-ray nanospectroscopy2022

    • 著者名/発表者名
      Hirokazu Fukidome
    • 学会等名
      14th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices '22 (ALC '22), Okinawa, 18p-2-1, Oct. 18, 2022, (invited)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Operando X-ray nanospectroscopy of devices using 2D-confined electrons for Beyond 5G2022

    • 著者名/発表者名
      Hirokazu Fukidome
    • 学会等名
      International Conference on Materials Science, Engineering and Technology, Dubai/Online, Dec. 23, 2022, (invited)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [備考] Otsuji Lab., RIEC, Tohoku Univ., Sendai, Japan

    • URL

      https://www.otsuji.riec.tohoku.ac.jp/english/index_en.php

  • [産業財産権] アンテナモジュールおよびその製造方法2022

    • 発明者名
      吹留博一,末光哲也,渡邊一世,川原実,飛坂優二,秋山昌次,川合信
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      111148988
  • [産業財産権] アンテナモジュールおよびその製造方法2022

    • 発明者名
      吹留博一,末光哲也,渡邊一世,川原実,飛坂優二,秋山昌次,川合信
    • 権利者名
      東北大学、情報通信研究機構、信越化学工業(株)
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      PCT/JP2022/039252
    • 外国

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公開日: 2023-12-25  

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