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2022 年度 実績報告書

界面層によるキャリア再結合抑制効果を用いたガラス上シリサイド半導体高効率太陽電池

研究課題

研究課題/領域番号 21H04548
研究機関筑波大学

研究代表者

末益 崇  筑波大学, 数理物質系, 教授 (40282339)

研究期間 (年度) 2021-04-05 – 2025-03-31
キーワードバリウムシリサイド / 太陽電池 / スパッタ / 多結晶 / 分光感度 / ドーピング
研究実績の概要

BaSi2ヘテロ接合型薄膜太陽電池の実現に向けて研究を行い、下記の成果を得た。
1. デバイスシミュレータを用いて、BaSi2光吸収層とヘテロ接合を形成した場合に、電子輸送層およびホール輸送層として機能する候補材料について調べ、光照射時の太陽電池特性を比較した。その結果、アモルファスSiCが電子輸送等として働くことが、分光感度特性およびシミュレーションから明らかになった。
2.ホール輸送層として期待されるMoO3, NiO, V2O5膜について、BaSi2とヘテロ接合を形成した場合に期待されるデバイス特性を計算し、MoO3膜が適していることが分かった。
3.AlドープZnOとBaSi2のヘテロ界面に、BaSi2と電子親和力の近いZnGeO膜を挿入することで、分光感度が向上することを明らかにした。また、印加する電圧の極性を変えることで、期待していた通り、ZnGeOは、BaSi2で生じた電子について障壁にならず、一方、ホールについては障壁になることを明らかにした。
4.スパッタ法で形成したBaSi2膜には、多数の酸素が含まれるため、不純物をドーピングしても伝導型やキャリア密度の制御がas-grown膜では達成できていなかった。そのような膜について、Ar雰囲気で1000度でアニールすることで、BドープBaSi2膜の場合、5分間のアニールにより、伝導型がn型からp型となり、アニール時間を大きくすることで、ホール密度が増加した。10分間のアニールにより、ドープしたBの約5割が活性化してホールを出すことが分かった。第一原理計算から、p型不純物であるBをドーピングした際、BaSi2中のSi四面体のSi原子の一部をBが置換しても、同じSi四面体のSiサイトに酸素が置換する場合には、n型になることが分かった。このため、アニールにより、p型伝導に変わるのは、酸素がSi四面体から出ていく一方、Bが留まるためと説明できる。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

AlドープZnO/BaSi2ヘテロ界面に、BaSi2に近い電子親和力をもつZnGeOを挿入することで、BaSi2で生じした電子とホールを空間的に分離することが、本研究提案の骨子であるが、作成した試料で確かに分光感度が格段に向上したことで、本研究の提案内容が実証されたことになる。さらに、研究を進めて、分光感度特性がもっとも良いアンドープBaSi2膜を光吸収層とし用いる可能性についても、電子輸送層やホール輸送層とのヘテロ接合により、高い変換効率をもつ太陽電池特性がシミュレーションで得られたことは高く評価できる。

今後の研究の推進方策

今後は、以下の2点を中心に行う。

1.ホール輸送等として期待されるNiO, WO3等の薄膜を真空蒸着法でBaSi2膜上に形成して、BaSi2膜で生じた光生成キャリアに対し、ホール輸送等としての機能を実証し、太陽電池特性に結び付ける。

2.AlドープZnO/p-BaSi2ヘテロ界面にZnGeO/ZnOを挿入して、太陽電池動作を実証する。

  • 研究成果

    (37件)

すべて 2023 2022 2021 その他

すべて 国際共同研究 (2件) 雑誌論文 (9件) (うち国際共著 2件、 査読あり 9件) 学会発表 (24件) (うち国際学会 6件) 備考 (1件) 産業財産権 (1件)

  • [国際共同研究] Delft University of Technology(オランダ)

    • 国名
      オランダ
    • 外国機関名
      Delft University of Technology
  • [国際共同研究] University of Grenoble Allpes(フランス)

    • 国名
      フランス
    • 外国機関名
      University of Grenoble Allpes
  • [雑誌論文] Demonstration of B-ion-implanted p-BaSi2/n-Si heterojunction solar cells2023

    • 著者名/発表者名
      Aonuki Sho、Narita Shunsuke、Takayanagi Kaori、Iwai Ai、Yamashita Yudai、Toko Kaoru、Suemasu Takashi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 ページ: SD1017.1~6

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acab08

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Structural design of BaSi2 solar cells with a-SiC electron-selective transport layers2023

    • 著者名/発表者名
      Du Rui、Aonuki Sho、Hasebe Hayato、Kido Kazuki、Takenaka Haruki、Toko Kaoru、Mesuda Masami、Suemasu Takashi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 ページ: SD1015.1~7

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acab09

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Formation of NiO films by reactive sputtering and application to BaSi2 heterojunction solar cells as hole-selective interlayer material2022

    • 著者名/発表者名
      Takenaka Haruki、Hasebe Hayato、Kido Kazuki、Koitabashi Ryota、Mesuda Masami、Toko Kaoru、Suemasu Takashi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 ページ: SD1011.1~7

    • DOI

      10.35848/1347-4065/aca770

    • 査読あり
  • [雑誌論文] High-temperature post-annealing effect on the device performance of B-doped p-type BaSi2/n-Si heterojunction solar cells grown by molecular beam epitaxy2022

    • 著者名/発表者名
      Narita Shunsuke、Aonuki Sho、Yamashita Yudai、Takayanagi Kaori、Toko Kaoru、Suemasu Takashi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 ページ: SD1003.1~6

    • DOI

      10.35848/1347-4065/aca257

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Towards B-doped p-BaSi2 films on Si substrates by co-sputtering of BaSi<sub>2</sub>, Ba, and B-doped Si targets2022

    • 著者名/発表者名
      Hasebe Hayato、Kido Kazuki、Takenaka Haruki、Mesuda Masami、Toko Kaoru、Migas Dmitri B.、Suemasu Takashi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 ページ: SD1010.1~6

    • DOI

      10.35848/1347-4065/aca4d7

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Study of electron paramagnetic resonance as a tool to discriminate between boron related defects in barium disilicide2022

    • 著者名/発表者名
      Cao Yuguang、Mouesca Jean-Marie、Gambarelli Serge、Suemasu Takashi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 ページ: SD1009.1~5

    • DOI

      10.35848/1347-4065/aca4d9

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Co-sputtering deposition of high-photoresponsivity and high-mobility polycrystalline BaSi2 films on Si substrates2022

    • 著者名/発表者名
      Kido Kazuki、Koitabashi Ryota、Ishiyama Takamistu、Hasebe Hayato、Mesuda Masami、Toko Kaoru、Suemasu Takashi
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 758 ページ: 139426.1~7

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2022.139426

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Silicon meets group-II metals in energy and electronic applications?How to handle reactive sources for high-quality films and bulk crystals2022

    • 著者名/発表者名
      Suemasu T.、Hara K. O.、Udono H.、Imai M.
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 131 ページ: 191101.1~16

    • DOI

      10.1063/5.0092080

    • 査読あり
  • [雑誌論文] High electron mobility in randomly oriented polycrystalline BaSi2 films formed through radio-frequency sputtering2022

    • 著者名/発表者名
      Koitabashi Ryota、Kido Kazuki、Hasebe Hayato、Mesuda Masami、Toko Kaoru、Suemasu Takashi
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 12 ページ: 045120.1~5

    • DOI

      10.1063/5.0087879

    • 査読あり
  • [学会発表] Atomic hydrogen passivation effect on BaSi2 films containing interstitial silicon atoms2022

    • 著者名/発表者名
      Sho Aonuki, Kaoru Toko, Dmitri B. Migas and Takashi Suemasu
    • 学会等名
      33rd International Photovoltaics Science and Engineering Conference
    • 国際学会
  • [学会発表] High-temperature post-annealing effect on BaSi2 solar cells grown by molecular beam epitaxy2022

    • 著者名/発表者名
      Shunsuke Narita, Sho Aonuki, Kaori Takayanagi, Kaoru Toko and Takashi Suemasu
    • 学会等名
      33rd International Photovoltaics Science and Engineering Conference
    • 国際学会
  • [学会発表] Surface passivation and carrier separation effects of Zn1-xGexOy interlayers for BaSi2 solar cells2022

    • 著者名/発表者名
      Kaori Takayanagi, Yudai Yamashita, Kaoru Toko and Takashi Suemasu
    • 学会等名
      33rd International Photovoltaics Science and Engineering Conference
    • 国際学会
  • [学会発表] Formation of p-NiO/n-BaSi2 hetero junction solar cells on glass substrates by radio-frequency sputtering2022

    • 著者名/発表者名
      Haruki Takenaka, Hayato Hasebe, Kazuki Kido, Masami Mesuda, Kaoru Toko and Takashi Suemasu
    • 学会等名
      33rd International Photovoltaics Science and Engineering Conference
    • 国際学会
  • [学会発表] Formation and characterizations of sputter-deposited p-type polycrystalline BaSi2 films using B-doped Si target2022

    • 著者名/発表者名
      Hayato Hasebe, Kazuki Kido, Haruki Takenaka, Masami Mesuda, Kaoru Toko and Takashi Suemasu
    • 学会等名
      33rd International Photovoltaics Science and Engineering Conference
    • 国際学会
  • [学会発表] The first solar cell application of P-ion-implanted n-BaSi2 films2022

    • 著者名/発表者名
      Sho Aonuki, Kaoru Toko and Takashi Suemasu
    • 学会等名
      5th International Union of Materials Research Societies International Conference of Young Researchers on Advanced Material
    • 国際学会
  • [学会発表] p-NiO/n-BaSi2ヘテロ接合型太陽電池の設計およびガラス基板上への作製2022

    • 著者名/発表者名
      竹中 晴紀、長谷部 隼、木戸 一輝、召田 雅実、都甲 薫、末益 崇
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] Zn1-xGexOy界面層を用いたn+-AZO/p-BaSi2太陽電池の検討2022

    • 著者名/発表者名
      髙柳香織、青貫翔、成田隼翼、都甲 薫、末益 崇
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] スパッタ法で作製した多結晶BaSi2膜へのBイオン注入による伝導型制御2022

    • 著者名/発表者名
      佐藤 匠、木戸 一輝、長谷部 隼、竹中 晴紀、青貫 翔、召田 雅実、都甲 薫、末益 崇
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] Bのイオン注入法によるp-BaSi2膜の作製および太陽電池応用2022

    • 著者名/発表者名
      青貫 翔, 都甲 薫, 末益 崇
    • 学会等名
      日本太陽エネルギー学会 研究発表会
  • [学会発表] B-ion-implanted p-BaSi2膜の伝導型制御および太陽電池応用2022

    • 著者名/発表者名
      青貫 翔, 都甲 薫, 末益 崇
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] BaSi2中膜の特性に対する酸素の影響2022

    • 著者名/発表者名
      岩井 藍, 青貫 翔, 成田 隼翼, 高柳 香織, 都甲 薫, 末益 崇
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] BaSi2膜へのポストアニールの条件最適化2022

    • 著者名/発表者名
      成田 隼翼, 青貫 翔, 高柳 香織, 都甲 薫, 末益 崇
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] スパッタ法による高ホール密度p型B-doped BaSi2膜の作製2022

    • 著者名/発表者名
      長谷部 隼, 木戸 一輝, 竹中 晴紀, 召田 雅実, 都甲 薫, 末益 崇
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] Structural design of BaSi2 solar cells with a-SiC interlayer by AFORS-HET2022

    • 著者名/発表者名
      Rui Du, Sho Aonuki, Hayato Hasebe, Kazuki Kido, Haruki Takenaka, Masami Mesuda, Kaoru Toko, Takashi Suemasu
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] Study of discriminating between boron related defects in BaSi2 by density functional theory approach2022

    • 著者名/発表者名
      Yuguang Cao, Jean-Marie Mouesca, Serge Gambarelli, and Takashi Suemasu
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] BaSi2太陽電池におけるZn1-xGexOy界面層の堆積条件が及ぼす影響2022

    • 著者名/発表者名
      髙柳香織, 山下雄大, 都甲 薫, 末益 崇
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] ガラス基板上p-NiO/n-BaSi2ヘテロ接合型太陽電池の作製と特性評価2022

    • 著者名/発表者名
      竹中 晴紀, 長谷部 隼, 木戸 一輝, 召田 雅実, 都甲 薫, 末益 崇
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] 原子状水素パッシベーションによるSi-rich BaSi2膜の光学特性向上及び第一原理計算による機構考察2022

    • 著者名/発表者名
      青貫 翔, 都甲 薫, D. Migas, 末益 崇
    • 学会等名
      第19回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム(第2回日本太陽光発電学会学術講演会)
  • [学会発表] ポストアニールによるp-BaSi2/n-Siヘテロ接合太陽電池の特性向上2022

    • 著者名/発表者名
      成田 隼翼, 青貫 翔, 高柳 香織, 都甲 薫, 末益 崇
    • 学会等名
      第19回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム(第2回日本太陽光発電学会学術講演会)
  • [学会発表] スパッタ法によるp型BaSi2膜の作製と評価2022

    • 著者名/発表者名
      長谷部 隼, 木戸 一輝, 召田 雅実, 都甲 薫, 末益 崇
    • 学会等名
      第19回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム(第2回日本太陽光発電学会学術講演会)
  • [学会発表] 表面電位顕微鏡による多結晶BaSi2膜の表面ポテンシャル評価2022

    • 著者名/発表者名
      木戸 一輝, 長谷部 隼, 召田 雅実, 都甲 薫, 末益 崇
    • 学会等名
      第19回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム(第2回日本太陽光発電学会学術講演会)
  • [学会発表] スパッタ法による p-NiO/n-BaSi2ヘテロ接合型太陽電池の作製と評価2022

    • 著者名/発表者名
      竹中 晴紀, 長谷部 隼, 木戸 一輝, 小板橋 嶺太, 召田 雅実, 都甲 薫, 末益 崇
    • 学会等名
      第19回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム(第2回日本太陽光発電学会学術講演会)
  • [学会発表] BaSi2太陽電池の界面層および電子輸送層応用に向けた Zn1-xGexOyの作製2022

    • 著者名/発表者名
      髙柳 香織, 山下 雄大, 都甲 薫, 末益 崇
    • 学会等名
      第19回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム(第2回日本太陽光発電学会学術講演会)
  • [備考] 環境半導体・磁性体研究室

    • URL

      http://www.bk.tsukuba.ac.jp/~ecology/index.html

  • [産業財産権] 珪化バリウム系膜及びその製造方法2021

    • 発明者名
      召田雅実、倉持豪人、末益崇
    • 権利者名
      召田雅実、倉持豪人、末益崇
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      7154496

URL: 

公開日: 2023-12-25  

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