プラズマナノ製造プロセスによる完全無歪加工の実現とその学理の探究

2021 年度 研究概要(採択時)

• 研究課題/領域番号: 21H05005
• 研究種目: 基盤研究(S)
• 配分区分: 補助金
• 審査区分: 大区分C
• 研究機関: 大阪大学
• 研究代表者: 山村 和也 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 (60240074)
• 研究分担者: 有馬 健太 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 (10324807) ; 孫 栄硯 大阪大学, 大学院工学研究科, 助教 (50963451)
• 研究期間 (年度): 2021-07-05 – 2026-03-31