微細複雑形状部品の表面にダメージを与えずかつナノレベルまでに仕上げる精密研磨技術が様々な産業分野で求められている.本研究は,変動磁場中にある磁性粒子の活発な動きを砥粒と連動させ,分散しながら精密加工が実現できる変動磁場を利用した超精密加工法を提案した.磁場解析によって最適な磁場配置を解明し,磁気研磨スラリーが変動磁場中に生じたダイナミックな磁気ブラシの形成及び作用条件を明らかにし,高精度の表面仕上げが実現できることを明らかにした.また,微細複雑形状部品の表面仕上げを実現するため,実用化に向けて6軸ロボットを利用した新しい加工装置を開発した.詳細な研磨実験を行い,本加工法の有用性を示した.
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