指先の動きを顕微作業のスケールまで縮小するために,永久磁石を使った単一体・無電力の変位縮小機構を開発して基本特性を実験的に検証した。その結果,(1)開発した変位縮小機構の発生変位は,永久磁石を移動させることで分解能18μm以下の位置決め性能を有し,微細作業の目的に合わせてフルストローク,変位縮小率をギャップによって設定できることを示した。(2)65mmの入力変位を273μmに変位縮小する機構を一体構造で実現した。(3)発生力も永久磁石を移動させることで調整でき,大きさ1mm以下の微小物を扱うのには十分な大きさをもっていることを示した。(4)磁力による非接触駆動機構であるので,永久磁石を手動操作しても弾性ビームに手振れが大きく伝わることがないことと,急激な操作に対して振動が励起されないことを確認した。 つぎに,開発した変位縮小機構を基にして2自由度変位縮小機構を開発した。弾性ビームを水平方向と垂直方向に吸引するように2つの永久磁石を配置し,発生変位特性を実験的に調べた。2つの磁力が若干干渉して歪な特性をもつことが確認されたが,弾性ビームに取り付けたプローブによって大きさ約100μmの文字が描けることを示した。 最後に,磁力を用いた変位縮小機構の原理を利用して光学顕微鏡に搭載することを目的とした精密ピンセットを開発し,1/1000倍程度の変位縮小率と約300μNの発生力が得られることを実験的に確認するとともに,ギャップによってフルストロークや発生力を調整できることを示した。
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