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2023 年度 実績報告書

マルチゲート構造を持つ超伝導電界効果トランジスタの研究

研究課題

研究課題/領域番号 21K04145
研究機関国立研究開発法人物質・材料研究機構

研究代表者

立木 実  国立研究開発法人物質・材料研究機構, ナノアーキテクトニクス材料研究センター, 主幹研究員 (50318838)

研究分担者 大井 修一  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点, 主任研究員 (10354292)
川原田 洋  早稲田大学, 理工学術院, 教授 (90161380)
研究期間 (年度) 2021-04-01 – 2024-03-31
キーワード超伝導 / 電界効果トランジスタ / ダイヤモンド / 銅酸化物 / 磁気光学顕微鏡 / 磁束量子
研究実績の概要

超伝導層/2次元正孔ガス(2DHG)層/超伝導層の3領域からなるダイヤモンド電界効果トランジスタ(FET)を世界で初めて作製し、ゲート電圧によるドレイン電流の変調効果を1K-10Kにおいて実現した。エッチング側壁面の超伝導転移温度の低い面方位で常伝導化することで、超伝導電流が流れる細い稜線を形成する稜線伝導型のデバイスを新たに開発した。これに加えて、新たにC-H チャネルデバイスと比べて高移動度が期待できるSi終端ダイヤモンド(C-Si-O)をチャネルに、(111)超伝導ボロンドープダイヤモンドをソース・ドレイン電極に用いたMOSFETを作製し、極低温環境下での動作を検証した。最終年度において、ボロンドープダイヤモンドチャネルFETの超伝導電流の直接ゲート変調にもはじめて成功した。
単結晶Bi2212銅酸化物超伝導体を劈開貼り付け法により薄膜化し、Arイオンエッチング装置によって超伝導チャネルを3.8μm程度に微細化した。また、希塩酸処理によるBi2212の超薄膜化についても検討した。汎用半導体シミュレータを用いて3次元シミュレーションを行い、マルチゲートチャネルにおけるキャリア濃度の電界変調効果を知ることができるようになった。超伝導トランジスタの動作理解に必要な磁束量子の駆動状態を観測するために、磁気光学薄膜センサの独自開発を行い、単一磁束量子レベルの運動をリアルタイムに観察できる磁気光学顕微鏡システムの開発に成功するとともに、ニオブ材料の単一磁束量子および磁束量子クラスター形成のその場観察に成功した。有限要素法や磁束量子の動力学法シミュレーションを開発し、磁束量子の運動を理論的に可視化することに成功した。また、開発した磁気光学顕微鏡により、高温超伝導体薄膜やMgB2コンポジット超伝導体の磁束侵入過程の様子の磁気顕微鏡によるリアルタイム観察を行った。

  • 研究成果

    (15件)

すべて 2024 2023

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (11件) (うち国際学会 1件)

  • [雑誌論文] Microstructural Study of YBCO Thin Films With Stripe-Patterned Substrates for Ultra-Fine Multi-Filaments2024

    • 著者名/発表者名
      Matsumoto Akiyoshi、Tachiki Minoru、Ooi Shuuichi、Teranishi Ryo、Inoue Masayoshi
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Applied Superconductivity

      巻: 34 ページ: 1~4

    • DOI

      10.1109/tasc.2024.3366159

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Consideration of Magnetic Flux Distribution in Multi-Filamented YBa2Cu3O7-δ Films by Controlling Crystal Array Using Surface-Modified Substrate2024

    • 著者名/発表者名
      Fujimoto Hiroki、Matsumoto Akiyoshi、Ooi Shuuichi、Tachiki Minoru、Inoue Masayoshi、Teranishi Ryo
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Applied Superconductivity

      巻: 34 ページ: 1~4

    • DOI

      10.1109/tasc.2024.3362729

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Development of YBCO Patterned Multi-Filamentary Film Using Photolithography Method2023

    • 著者名/発表者名
      Matsumoto Akiyoshi、Tachiki Minoru、Ooi Shuuichi
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Applied Superconductivity

      巻: 33 ページ: 1~4

    • DOI

      10.1109/tasc.2023.3244515

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Strong phase coherence and vortex matter in a fractal system with proximity-induced superconductivity2023

    • 著者名/発表者名
      Teramachi Nanami、Nakaaki Iku、Hashimoto Aoi、Ooi Shuuichi、Tachiki Minoru、Arisawa Shunichi、Seto Yusuke、Sakurai Takahiro、Ohta Hitoshi、Valenta Jaroslav、Tsujii Naohito、Mori Takao、Uchino Takashi
    • 雑誌名

      Physical Review B

      巻: 108 ページ: 155146(1~13)

    • DOI

      10.1103/physrevb.108.155146

    • 査読あり
  • [学会発表] 磁気光学イメージングによる高純度ニオブ中の単一磁束量子観察2024

    • 著者名/発表者名
      大井 修一, 立木 実, 茂筑 高士, 井藤隼人, 菊池 章弘, 有沢 俊一, 久保毅幸, 梅森健成.
    • 学会等名
      日本物理学会 2024年春季大会
  • [学会発表] Zrをパターニングした基板上でフィラメント構造化した MOD-YBCO薄膜のTEMによる微細組織観察2024

    • 著者名/発表者名
      藤本大貴, Guo Zimeng, 波多 聰, 寺西 亮, 松本 明善, 大井 修一, 立木 実
    • 学会等名
      第106回低温工学・超電導学会
  • [学会発表] Reduction of Etching Damage and SQUID Operation of Single-Crystalline Diamond Josephson Junctions by Ridge Conduction Structure2023

    • 著者名/発表者名
      Y.Hashimoto, C.Wakabayashi, Y.Takahashi, Y.Takano, M.Tachiki, S.Ooi, H. Kawarada
    • 学会等名
      2023 MRS Fall Meeting &Exhibit, Boston, USA, Nov 26-Dec 1, 2023
    • 国際学会
  • [学会発表] Supercurrent modulation in superconducting boron-doped diamond thin films by field effect2023

    • 著者名/発表者名
      C. Wakabayashi, Y. Hashimoto, M. Takeuchi, S. Ooi, M. Tachiki, Y. Takano, H.Kawarada
    • 学会等名
      3rd International Symposium on Design and Engineering by Joint Inverse Innovation for Materials Architecture
  • [学会発表] 超伝導フラクタルナノ複合体の位相コヒーレンス形成と渦糸構造2023

    • 著者名/発表者名
      寺町七海, 中明育, 橋本碧維, 大井 修一, 立木 実, 有沢 俊一, 櫻井敬博, 太田仁, 近藤隼,幾原雄一, バレンタ ヤロスラフ, 辻井 直人, 森 孝雄, 内野隆司
    • 学会等名
      第29回 渦糸物理ワークショップ
  • [学会発表] 超伝導/常伝導フラクタルナノ複合化合物の自発渦糸形成2023

    • 著者名/発表者名
      中明育, 櫻井敬博, 太田仁, 大井 修一, 立木 実, 有沢 俊一, 幾原雄一, 近藤隼, 大石一城, 坂口佳史, 幸田章宏, 内野隆司
    • 学会等名
      第29回 渦糸物理ワークショップ
  • [学会発表] GLパラメータが臨界値に近い超伝導体の磁束量子ダイナミクス2023

    • 著者名/発表者名
      立木 実, 大井 修一, 茂筑 高士, 井藤 隼人, 菊池 章弘, 有沢 俊一, 久保 毅幸, 梅森 健成
    • 学会等名
      第29回 渦糸物理ワークショップ
  • [学会発表] フォトリソグラフィー法を用いたREBCOマルチフィラメント薄膜の開発2023

    • 著者名/発表者名
      松本 明善, 立木 実, 大井 修一, 寺西亮, 波多聰, 郭子萌, 高紅叶, 井上昌睦
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] REBa2Cu3O7-δ超伝導薄膜の硬さ試験における最大荷重が硬さ評価に及ぼす影響2023

    • 著者名/発表者名
      浦中智貴, 寺西亮, 立木 実, 松本 明善
    • 学会等名
      2023年度 日本金属学会九州支部 日本鉄鋼協会九州支部 軽金属学会九州支部 合同学術講演会
  • [学会発表] フラクタル構造を有する超伝導ナノ複合体の巨視的位相コヒーレンス形成と磁束構造2023

    • 著者名/発表者名
      中明 育, 櫻井 敬博, 太田 仁, 瀬戸 雄介, 大井 修一, 立木 実, 有沢 俊一, 内野 隆司
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] C-Si-Oチャネルを用いたダイヤモンドMOSFETの 極低温環境下における動作実証2023

    • 著者名/発表者名
      竹内雅治, 若林千幸, 太田康介, 成田憲人, 高橋康裕, 蔭浦泰資, 高野義彦, 立木 実, 大井修一, 有沢俊一, 川原田 洋
    • 学会等名
      第70回 応用物理学会春季学術講演会

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公開日: 2024-12-25  

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