透明導電膜の高移動度発現に対する点欠陥の影響と光によるその制御技術に関する研究

2023 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21K04148
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分21050:電気電子材料工学関連
• 研究機関: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
• 研究代表者: 野本 淳一 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (30711288)
• 研究期間 (年度): 2021-04-01 – 2024-03-31
• キーワード: 透明導電膜 / 固相結晶化 / 光反応 / キャリア輸送

研究成果の概要

適量の水素 (H) を添加した In2O3 は 100 cm2/Vs を超えるキャリア移動度を実現でき、電気伝導を劣化させることなく低いキャリア密度に因り透明領域を近赤外線波長域まで拡張することができる。我々は、エキシマレーザー照射技術を使用し、照射条件と前駆体薄膜の形成条件の最適化を行うことで、前人未到であったフレキシブル高移動度透明導電フィルムを実現し、報告されているフレキシブル透明導電フィルムの中で最高のキャリア移動度 133 cm2/Vs を達成することに成功した。

自由記述の分野

透明導電酸化物

研究成果の学術的意義や社会的意義

実現したフレキシブル高移動度透明導電フィルムは、高い導電性と可視から近赤外線帯域までの広い波長帯域で高い透明性を両立した。これらの特性は、近赤外光を発電やセンシングに利用するフレキシブル次世代太陽電池やセンサーの性能向上に大きく貢献する。