| 研究課題/領域番号 |
21K12796
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| 研究機関 | 和歌山大学 |
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研究代表者 |
幹 浩文 和歌山大学, システム工学部, 講師 (20403363)
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| 研究期間 (年度) |
2021-04-01 – 2024-03-31
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| キーワード | 低侵襲 / 触覚 / MEMS / 材料特性 |
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| 研究実績の概要 |
2021年度当初の研究計画に沿って研究を進めてきた。予定通りに，COMSOL解析ソフトを駆使して感度・Cross-talk面での振る舞いを調べ，その結果とセンサ構造およびアレイ配置との関係が分かった。デバイスの最適構造の実現に対応するための作製プロセスを検討し，対応するフォトマスクを作製してウェットエッチングの基本特性の解明を行った結果，センシング材料が顕著な異方性エッチング性質を有することがわかった。プロセス条件の違いによるエッチング特性の振る舞いをさらに調べ構造設計の知見を得る必要がある。
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
理由
当初予定した計画通りに研究を進め，おおむね期待した結果が得られているので，おおむね順調に進展してるものと考える。
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| 今後の研究の推進方策 |
エッチング液の種類の違いによるセンシング材料の作製構造の結果に対する振る舞いについてさらに検討を進め，構造設計の指針を得る必要がある。材料の特性にあわせて設計構造の変更を行い，構造解析による検証を進める予定である。予定通りに順調であれば実際の設計に基づき一次の試作品の作製プロセスに進み，最終のゴールを目指して必要課題の抽出を行う方針である。
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| 次年度使用額が生じた理由 |
4125円の次年度使用額が生じた。購入予定であった実験用の有機溶媒の残量がまだ残ってあったので、薬品管理の利便性の都合で次年度購入することにした。
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