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数値解析を通じて圧電PVDFを用いた触覚センサの構造とセンシング素子間のピッチがセンサの感度・Cross-talkへの影響を確認し，実験により圧電PVDFの微細加工特性の解明を行った．従来微細加工が困難といわれた圧電PVDFにMEMS技術によって線幅が数μm～数十μmの微細パターンの実現可能性を見出し，エッチングマスクの開口ラインと圧電PVDFのg31方向との位置合わせ配置が高分解能を目的とするマイクロアレイセンサの素子間ピッチを決めるカギとなることを明らかにした。また，異方性ウェットエッチングにより圧電PVDFの3次元微細構造の実現可能性を見出すことができた．
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