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本研究の目的は「100℃以下の低品位な熱源で利用可能な循環型小型発電システムのための要素開発」であることから、小型化技術の一つである半導体製造技術を利用して発電システムを構成する機械部品の小型化を行った。また、低温排熱を利用するためにオーガニックランキンサイクルに利用される低沸点冷媒を作動流体に用いて発電システムにおけるタービンの回転実験や熱移動に関する解析を行った。この結果、タービン機構、流路、ボイラータンクにおいて1cm角程度のサイズを実現した。また、一つのシリコン構造体内部にこれらの要素を組み込んだモノリシック型発電システムについて設計と作製を行った。
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