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2023 年度 研究成果報告書

振動ブレ防止機構を備えたMEMSミラーによる移動機器向け小型LiDAR

研究課題

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研究課題/領域番号 21K14219
研究種目

若手研究

配分区分基金
審査区分 小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
研究機関国立研究開発法人産業技術総合研究所

研究代表者

岡本 有貴  国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 研究員 (40880753)

研究期間 (年度) 2021-04-01 – 2024-03-31
キーワードMEMSスキャナ / MEMSミラー / 圧電薄膜アクチュエータ / 静電アクチュエータ / 電磁駆動アクチュエータ / LiDAR
研究成果の概要

本研究の目的は、自動車やロボットのような移動体上から計測しても振動によるブレがなく測距できる移動物体用小型Detection and Ranging(LiDAR)に用いる、
ブレ防止機構搭載MEMSスキャナの開発である。研究期間全体を通しMEMSスキャナ構造の実現、XY面内駆動アクチュエータの実現とスキャナ構造の集積、MEMSスキャナの高性能化と小型化を達成し、計画通りに研究を行うことができた。

自由記述の分野

MEMS

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究で実現した技術は、ジンバルのような大きな機構なしにブレ補正を行うことができ、移動体上での光スキャンの性能向上・小型化につながる。これは、自動移動ロボット(AMR)や自動運転車などからの長距離計測の高精度化をもたらし、ロボットの自己位置推定の高精度化・自動運転技術の高度化に必要なセンサ技術であると考える。また、研究の過程で実現した超小型MEMSスキャナ技術や非対称フレームによる2軸MEMSスキャナ技術はスキャナだけでなく、電磁駆動方向の機械的な変換や、複数アクチュエータによる連成振動の高度化といったMEMSアクチュエータ全体を進歩させるものである。

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公開日: 2025-01-30  

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