本研究では、外部振動の周波数変化に連動したMEMS振動発電素子の自動共振調整システムを提案し実証した。インピーダンスにより共振周波数が変化する共振センサ一体型振動発電素子を開発し、共振センサからの位相信号と外部振動を位相比較器により比較することで、発電素子後段のインピーダンスを自動で調整するPLL(Phase Locked Loop)システムを実現した。これにより、100.7 Hzから102.0 Hzの帯域で2つの信号の位相差が90°にロックされ外部振動が変化しても発電電力が維持でき、自動共振調整システムの有効性を実証した。
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