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空間電荷効果を活用した電子線の雑音低減に向けて裏面照射型薄膜フォトカソード電子銃の開発および雑音低減された電子線の生成・測定を行った。裏面照射型薄膜フォトカソードの開発では、薄膜フォトカソードはパルスレーザー堆積法により六ホウ化ランタン薄膜を作製した。また、その結晶性と組成を走査透過電子顕微鏡で評価し、六ホウ化ランタン薄膜結晶を作製できることがわかった。さらに、本薄膜フォトカソード電子銃をもいて空間電荷効果が現れる低加速電圧で光電子放出の実験を行い、空間電荷効果による放出電子数の減少を確認ができ目的とした電子線の生成に成功した。
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