研究課題/領域番号 |
21K18159
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研究種目 |
挑戦的研究(開拓)
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配分区分 | 基金 |
審査区分 |
中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
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研究機関 | 大阪大学 |
研究代表者 |
高谷 裕浩 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 (70243178)
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研究分担者 |
水谷 康弘 大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (40374152)
上野原 努 大阪大学, 大学院工学研究科, 助教 (10868920)
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研究期間 (年度) |
2021-07-09 – 2025-03-31
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研究の概要 |
最先端のナノ微細加工で創成される3次元微細構造の機能性評価を目的とし,光子散乱量子効果という全く新しい原理に基づいた光計測法を確立する研究である。独自の量子的3Dゴーストイメージングに,2光子量子干渉による変位計測を組み合わせて,既存の方法では達成できないマクロ・レベルからミクロ・レベルに至るダイナミックレンジが広い光子散乱表面計測技術が確立される可能性がある。
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学術的意義、期待される成果 |
最先端のナノ微細加工で創成される3次元微細構造(ナノ表面トポグラフィ)とそれにより発現する機能を明らかにするためには,マクロ・レベルからミクロ・レベルに至るダイナミックレンジの広い計測方法が求められている。この計測技術が確立されれば,ナノ表面トポグラフィと機能の関係が明らかとなり,次世代半導体デバイスの設計に大きく貢献できる。
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