|
電位計測センサアレイのCMOSセンサチップに「におい感応膜」を成膜し，においを画像情報として出力できる画像出力型においセンサを作製した。このセンサでガス計測を行い，機械学習（Light GBM）でデータ解析を行った。3種類のガス判別を行った結果，1000以上の計測データを98%以上の正答率で判別可能であった。機械学習の効果を高める分子ふるい機構を開発した。Si基板上にアルミ製ストライプをブリッジ状に形成し，ストライプ部をガスが透過可能な構造にしたものを試作した。ストライプ幅や印加電圧によるガス応答特性が変化を確認した。これら成果の組み合わせにより，提案したにおい計測が可能である事を実証した。
|
