| 研究課題/領域番号 |
21K18729
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| 研究機関 | 九州大学 |
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研究代表者 |
多喜川 良 九州大学, システム情報科学研究院, 准教授 (80706846)
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| 研究期間 (年度) |
2021-07-09 – 2024-03-31
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| キーワード | 活性化薄膜形成 |
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| 研究実績の概要 |
次世代の小型かつ高機能マイクロデバイスの実現に向けて、異種材料集積技術は必要不可欠となる。この異種材料集積技術には、はんだ接合法等に代わる熱膨張等の影響を受けない室温（ないし低温）接合技術が有効なアプローチとなる。本研究では、低コストな異種材料集積法として活性化透明薄膜を利用した新しい大気室温接合技術の可能性を探索する。本年度は主に、大気下におけるこの活性化透明薄膜形成に向けた基礎的な調査を行った。具体的には、大気圧プラズマ照射等を利用し接合性が高いと見込まれる透明薄膜の形成プロセスを検討した。接合実験までは至らなかったが、下地材料との密着性や表面粗さ・膜質等を考慮した活性化透明薄膜の形成条件について知見が得られた。今後は、この透明薄膜の接合実験を中心に研究を進める必要がある。新型コロナの影響で一部十分な実験は行えなかったが、得られた知見は今後の大気室温接合技術の開発に向けて有意義なものとなった。
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
3: やや遅れている
理由
本年度は、活性化透明薄膜形成に向けた基礎的検討を中心に行った。多くの知見は得られたが、接合実験まで至らなかったため、やや遅れていると判断した。
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| 今後の研究の推進方策 |
今後は、接合実験系の構築とともに得られた活性化透明薄膜の接合実験を行っていく予定である。
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| 次年度使用額が生じた理由 |
初年度購入予定であった装置を新たに導入する必要がなくなったため、次年度使用額が生じた。次年度以降、接合機構を構成する部材費や界面分析費等として有効に利用する予定である。
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