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本研究では、特殊金属製マイクロマシンの創成に向けた、総合的な微細加工プロセスの開発を進めた。例えば、チタンに対応した箔のような薄板でも反らない絶縁膜プロセス、用途に合わせた電解エッチングプロセス、微小構造体を作製する二重層プロセスなどの基本技術を開発した。また、フッ素樹脂との接合技術など、耐食性を活かした特種用途を想定した技術開発にも成功した。さらに、開発した技術を用いて、対象に貼って使用するチタン製フレキシブルフォースセンサ、カンチレバーやダイヤフラムの作製、マイクロサージェリー用メスやニードル、マイクロ電解電極などの新しいセンサ・デバイスの創成にも挑戦した。
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