原子オーダ平坦な界面を有する３次元立体構造トランジスタの製造プロセスに関する研究

2013 年度 研究進捗評価(評価結果)

• 研究課題/領域番号: 22000010
• 研究種目: 特別推進研究
• 配分区分: 補助金
• 審査区分: 理工系; 工学
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 大見 忠弘 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 名誉教授 (20016463)
• 研究分担者: 平山 昌樹 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 准教授 (70250701) ; 後藤 哲也 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 准教授 (00359556) ; 諏訪 智之 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 助教 (70431541)
• 研究期間 (年度): 2010-04-21 – 2015-03-31

評価記号

評価結果 (区分)

A: 当初目標に向けて順調に研究が進展しており、期待どおりの成果が見込まれる