| 研究課題/領域番号 |
22226004
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| 研究種目 |
基盤研究(S)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
石原 直 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (00422329)
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| 研究分担者 |
山口 浩司 日本電信電話株式会社, NTT 物性科学基礎研究所, 研究部長主席特別研究員 (60374071)
割澤 伸一 東京大学, 大学院・新領域創成科学研究科, 准教授 (20262321)
ドロネー ジャン・ジャック 東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授 (80376516)
米谷 玲皇 東京大学, 大学院・工学系研究科, 講師 (90466780)
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| 研究期間 (年度) |
2010 – 2012
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| キーワード | ナノマイクロ加工 / NEMS / ナノメカニクス / ナノ計測 / ナノ振動子 |
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| 研究概要 |
ナノスケールの寸法を持ったナノメカニカル構造は、そのナノ寸法ゆえに発現する新しい機械特性を利用して従来にない革新的機能・性能をもった新しいデバイスや機械を実現できる可能性を有する。本研究では、ナノメカニカル構造としてナノ振動子を取り上げ、まず、電子ビームやイオンビームを用いた3次元ナノ構造の創製技術、および電子ビームやAFMを用いたナノ構造の微小振動測定技術の研究開発を進めた。そして、これらの開発技術を駆使して作製したナノ振動子の共振特性解明と、それらのセンシングデバイスへの応用に関する研究を推進した。
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