次世代高精度ミラー製作のための法線ベクトル追跡型高速ナノ精度形状測定法の開発

2014 年度 研究進捗評価(検証)

• 研究課題/領域番号: 22226005
• 研究種目: 基盤研究(S)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 大阪大学
• 研究代表者: 遠藤 勝義 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (90152008)
• 研究分担者: 打越 純一 大阪大学, 工学研究科, 招聘教員 (90273581)
• 研究期間 (年度): 2010-05-31 – 2014-03-31

評価記号

検証結果 (区分)

B