| 研究概要 |
高精度ミラー・レンズをナノ精度で形状測定することが要請されている。平面から平均曲率半径25mm以下の非球面の形状を、測定精度1nm PV以上、測定時間10min/sample以下で測定できる法線ベクトル追跡型高速ナノ形状測定法を開発した。
本装置によって、R=100,400mm,1000mm凹球面ミラーとR=46.818489 mm 基準球、平面ミラー、非球面ミラーの形状を測定した。非球面ミラーの形状測定において、再現性0.37 nm(標準偏差)、1.60 nm PV(偏差値相当)を達成した。フィゾー干渉計による形状測定と比較すると、それぞれの系統誤差範囲内である±5nm PV以下で一致した。
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