有機金属気相成長法によりSi基板上に成長した単結晶CdTe厚膜層を用いて製作した、p-likeCdTe/n-CdTe/n+-Si構造のヘテロ接合型ダイオード構造の放射線検出器の検出性能の高性能化を検討した。さらにその検出器を8×8に2次元配列したアレイ型画像検出器を製作し、その検出器アレイよって入射X線の光子エネルギー識別画像を検出できることを確認した。さらに検出器アレイの検出性能向上と高集積大面積化を検討し、24.5x24.5mm2の大面積CdTe層を用いた20x20の高集積2次元検出器アレイを実現した。
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