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2012 年度 実績報告書

プラズマバイオプロセスにおけるラジカル表面相互作用の系統的解明

研究課題

研究課題/領域番号 22244075
研究機関大阪大学

研究代表者

浜口 智志  大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (60301826)

研究期間 (年度) 2010-04-01 – 2013-03-31
キーワードプラズマ / 表面・界面物性 / たんぱく質 / バイオ関連機器 / シミュレーション
研究概要

大気圧プラズマによるバイオマテリアルプロセスや生体組織プロセスの表面反応過程やその物理化学的機構の解明は、今後の人工臓器や医療機器開発の発展に極めて重要な科学的・工学的課題である。本研究は、こうした観点から、タンパク質等の有機高分子膜の大気圧プラズマプロセスにおけるプラズマ表面相互作用の表面反応基礎過程を、ビーム実験と原子レベルシミュレーションを用いて解明することを目的とした。最終年度である今年度は、イオンビームシステムおよび分子動力学(MD)シミュレーションを用いて、有機高分子膜表面と各種イオン・ラジカル入射の相互作用を解析した。具体的には、過去2年間、イオンビームと有機高分子膜PMMA(ポリメチルメタクリレート)の相互作用、大気圧プラズマジェットを用いたフィブロネクチン等のタンパク膜の相互作用、人工骨として使われるハイドロキシアパタイト等の表面改質とその表面解析、さらに、表面改質された人工骨と生体の相互作用を調べ、また、PMMA のMDシミュレーションにより、プラズマ処理中の表面緩和プロセスの詳細を明らかにしてきた経緯をうけ、本年度は、異なる材料のプラズマ表面相互作用解析の例として、多孔質ハイドロキシアパタイトの表面改質後の表面状態の解析を行った。さらに、数値シミュレーションでは、有機ポリマーのプラズマ照射によるスパッタリングの影響などを、より定量的にモデル化するための、表面緩和モデルをMDシミュレーションに導入し、各種スパッタリングイールドが実験値に極めて近い値を得ることに成功した。

現在までの達成度 (区分)
理由

24年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

24年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (65件)

すべて 2013 2012 その他

すべて 雑誌論文 (14件) (うち査読あり 14件) 学会発表 (50件) (うち招待講演 14件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Grid-pattern formation of extracellular matrix on silicon by low-temperature atmospheric-pressure plasma jets for neural network biochip fabrication2013

    • 著者名/発表者名
      Ayumi Ando, Hidetaka Uno, Tsuneo Uris, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Appl. Surf. Sci.

      巻: 未定 ページ: 未定

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Quantum Cascade Laser (QCL) Absorption Spectroscopy with the Amplitude-to-Time Conversion (ATTC) Technique for Atmospheric-Pressure Plasmas2013

    • 著者名/発表者名
      Takayoshi Yumii, Noriaki Kimura and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.

      巻: 未定 ページ: 未定

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Oxidation of Nitric Oxide by Atmospheric Pressure Plasma in a Resonant Plasma Reactor2013

    • 著者名/発表者名
      Takayoshi Yumii, Takashi Yoshida,Kyoji Doi,Noriaki Kimura, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 46 ページ: 135202-1 ~7

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Characteristics of silicon etching by silicon chloride ions2013

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Song-Yun Kang, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Technol. A.

      巻: 31 ページ: 031301-1~5

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Chemically reactive species in liquids generated by atmospheric-pressure plasmas and their roles in plasma medicine2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      AIP Conf. Proc.

      巻: 未定 ページ: 未定

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Sputtering yields and surface modification of poly(methyl methacrylate) (PMMA) by low-energy Ar+/CF3+ ion bombardment with vacuum ultraviolet (VUV) photon irradiation2012

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshimura, Y. Tsukazaki, M. Kiuchi, S. Sugimoto, S. Hamaguchi,.
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 45 ページ: 505201-1~10

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Sputtering yields of magnesium hydroxide [Mg(OH)2] by noble-gas ion bombardment2012

    • 著者名/発表者名
      Kazumasa Ikuse, Satoru Yoshimura, Masato Kiuchi, Masaharu Terauchi, Mikihiko Nishitani, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 45 ページ: 432001-1~5

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Efficient modification of the surface properties of interconnected porous hydroxyapatite by low-pressure low-frequency plasma treatment to promote its biological performance2012

    • 著者名/発表者名
      Dae-Sung Lee, Yu Moriguchi, Akira Myoui, Hideki Yoshikawa and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 45 ページ: 372001-1~5

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Microcavity array plasma system for remote chemical processing at atmospheric pressure2012

    • 著者名/発表者名
      Dae-Sung Lee, Satoshi Hamaguchi, Osamu Sakai, Sung-Jin Park and J Gary Eden,
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 45 ページ: 222001-1~5

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Si damage due to oblique-angle ion impact relevant for vertical gate etching processes2012

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Song-Yun Kang, and Satoshi Hamaguchi,
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 51 ページ: 08HB01-1~4.

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Dependence of catalytic properties of Indium-implanted SiO2 thin films on the energy and dose of incident Indium ions2012

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshimura, M. Kiuchi, Y. Nishimoto, M. Yasuda, A. Baba, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 520 ページ: 4894–4897

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Sputtering yields of CaO, SrO, and BaO by monochromatic noble gas ion bombardment2012

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshimura, K. Hine, M. Kiuchi, J. Hashimoto, M. Terauchi, Y. Honda, M.Nishitani, and S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 51 ページ: 08HB02-1~4

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Low energy metal ion beam production with a modified Freeman-type ion source for development of novel catalysts2012

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshimura, M. Kiuchi, Y. Nishimoto, M. Yasuda, A. Baba, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      e-J. Surf. Sci. Nanotech.

      巻: 10 ページ: 139-144

    • 査読あり
  • [雑誌論文] プラズマの医療応用2012

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      パリティ

      巻: 1月号 ページ: 16-17

    • 査読あり
  • [学会発表] Analyses of elementary ion-surface interactions for low-damage plasma etching processes

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Korean Physical Society (KPS) 2012 Spring Meeting
    • 発表場所
      Daejeon Convention Center, Daejeon, Korea
    • 招待講演
  • [学会発表] Numerical analysis of nano-second pulsed discharge near atmospheric pressure

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      International Workshop “Physics of Microplasmas”
    • 発表場所
      Bochum, Germany
    • 招待講演
  • [学会発表] Plasma Surface Modification of Artificial Bones for Bone Regeneration

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      4th International Conference on Plasma Medicine
    • 発表場所
      Oreleans, France
  • [学会発表] Cell proliferation enhanced by atmospheric-pressure plasma application for cells of interest in orthopedics

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      4th International Conference on Plasma Medicine
    • 発表場所
      Oreleans, France
  • [学会発表] Numerical Simulation of Reactive Species in Liquids in Contact with Atmospheric Pressure Plasmas

    • 著者名/発表者名
      Tatsuya Kanazawa
    • 学会等名
      4th International Conference on Plasma Medicine
    • 発表場所
      oreleans, France
  • [学会発表] Analyses of plasma-surface interactions by numerical simulations and multi-beam experiments

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology 2012 (ICMAP2012)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 招待講演
  • [学会発表] Oxidization of Nitric Oxide by Atmospheric Plasmas Generated by a Radio-Frequency (RF) driven High Q-factor Resonator

    • 著者名/発表者名
      Takayoshi Yumii
    • 学会等名
      4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology 2012 (ICMAP2012)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
  • [学会発表] Plasma treatment of artificial bones

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      2nd International Symposium for Plasma Biosciences (SPB2012)
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • 招待講演
  • [学会発表] Chemically reactive species in liquids generated by atmospheric-pressure plasmas and their roles in plasma medicine

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      8th International Conference on Atomic and Molecular Data and Their Applications (ICAMDATA-8)
    • 発表場所
      National Institute of Standards and Technology (NIST), Gaithersburg, MD, USA
    • 招待講演
  • [学会発表] Study on plasma-surface interaction in LIA336

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      CNRS-LIA336 Workshop
    • 発表場所
      Kyushu University, Hakozaki Campus, Japan
    • 招待講演
  • [学会発表] Ion-bombardment-induced diffusion and drift of impurity atoms in solids

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      IUMRS (International Union of Materials Research Societies)-International Conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM 2012)
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • 招待講演
  • [学会発表] Ion beam studies on plasma-surface interactions SRC

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Semiconductor Research Corporation (SRC) NMS (Nanomanufacturing Sciences) Patterning Annual Review
    • 発表場所
      Chicago, Il, USA
  • [学会発表] Plasma Biomedicine in Orthopedics

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Workshop on Plasma Biomedicine, 65th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Austin, TX, USA
    • 招待講演
  • [学会発表] Low energy metal iom beam injection to SiO2 thin films for development of novel catalysts

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshimura
    • 学会等名
      25th International Conference on Atomic Collisions in Solids (ICACS-25), (21-25 October, 2012) & 8th International Symposium on Swift Heavy Ions in Matter (SHIM2012)
    • 発表場所
      Kyoto University, Kyoto, Japan
  • [学会発表] Roles of hydrogen for hydrofluorocarbon (HFC) plasma etching of silicon nitride (SiN)

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      American Vacuum Society (AVS) 59th International Symposium & Exhibition
    • 発表場所
      Tampa, Fl, USA
  • [学会発表] Analysis of target oxidation in reactive sputter deposition processes of silicon dioxide

    • 著者名/発表者名
      Kazuhiro Hoshino
    • 学会等名
      American Vacuum Society (AVS) 59th International Symposium & Exhibition
    • 発表場所
      Tampa, Fl, USA
  • [学会発表] Etching reaction of CoFeB by carbon monoxide /methyl alcohol based plasmas

    • 著者名/発表者名
      Kazuhiro Karahashi
    • 学会等名
      American Vacuum Society (AVS) 59th International Symposium & Exhibition
    • 発表場所
      Tampa, Fl, USA
  • [学会発表] Molecular Dynamic Simulation of Possible Damage Formation at Vertical Walls of finFET Devices during Plasma Etching Processes

    • 著者名/発表者名
      Kohei Mizotani
    • 学会等名
      American Vacuum Society (AVS) 59th International Symposium & Exhibition
    • 発表場所
      Tampa, Fl, USA
  • [学会発表] Reactive etching or deposition properties of silicon halide ions in gate etching processes

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito
    • 学会等名
      American Vacuum Society (AVS) 59th International Symposium & Exhibition
    • 発表場所
      Tampa, Fl, USA
  • [学会発表] Evaluation of sputtering yields of silicon nitride by fluoro/hydrofluorocarbon ions by molecular dynamics (MD) simulations: modeling of thermal relaxation processes for polymer formation

    • 著者名/発表者名
      Keita Miyake
    • 学会等名
      International Symposium on Dry Process (DPS)
    • 発表場所
      U. Tokyo, Tokyo, Japan
  • [学会発表] Etching reaction of CoFeB by carbon monoxide /methyl alcohol based plasmas

    • 著者名/発表者名
      Kazuhiro Karahashi
    • 学会等名
      International Symposium on Dry Process (DPS)
    • 発表場所
      U. Tokyo, Tokyo, Japan
  • [学会発表] Plasma surface modification of porous hydroxyapatite artificial bones

    • 著者名/発表者名
      Yu Moriguchi
    • 学会等名
      Orthopaedic Research Society (ORS) 2013 Annual Meeting
    • 発表場所
      San Antonio, TX, USA
  • [学会発表] プラズマ科学技術の建築分野での活用

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      建築研究開発コンソーシアム(CBRD) テクニカルフォーラム
    • 発表場所
      晴海トリトンスクエア、東京都中央区
    • 招待講演
  • [学会発表] ハイドロキシアパタイト人工骨に対する低温プラズマ処理

    • 著者名/発表者名
      森口悠
    • 学会等名
      第6回連通多孔体セラミックス学術研究会
    • 発表場所
      京都センチュリーホテル、京都府京都市
  • [学会発表] 希ガスイオン照射による水酸化マグネシウムのスパッタ率測定

    • 著者名/発表者名
      幾世和将
    • 学会等名
      第73回応用物理学学術講演会
    • 発表場所
      松山大学、愛媛県松山市
  • [学会発表] SiFx+イオン照射によるSi, Si3N4およびSiO2エッチング反応解析

    • 著者名/発表者名
      伊藤智子
    • 学会等名
      第73回応用物理学学術講演会
    • 発表場所
      松山大学、愛媛県松山市
  • [学会発表] 大気圧プラズマにより水中に誘起される化学種の反応シミュレーション

    • 著者名/発表者名
      金澤龍也
    • 学会等名
      第73回応用物理学学術講演会
    • 発表場所
      松山大学、愛媛県松山市
  • [学会発表] メタノールプラズマ中のイオン照射によるCoFeB エッチング反応 (2)

    • 著者名/発表者名
      唐橋一浩
    • 学会等名
      第73回応用物理学学術講演会
    • 発表場所
      松山大学、愛媛県松山市
  • [学会発表] ビーム表面相互作用分子動力学(MD)シミュレーションにおける基板熱緩和過程の解析

    • 著者名/発表者名
      三宅啓太
    • 学会等名
      第73回応用物理学学術講演会
    • 発表場所
      松山大学、愛媛県松山市
  • [学会発表] プラズマエッチングにおけるゲートダメージ層形成機構の数値解析

    • 著者名/発表者名
      溝谷浩平
    • 学会等名
      第73回応用物理学学術講演会
    • 発表場所
      松山大学、愛媛県松山市
  • [学会発表] Silicon Etching Characteristics by Ions of Desorbed Species (SiClx+)

    • 著者名/発表者名
      李虎
    • 学会等名
      第6回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
    • 発表場所
      国立中央青少年交流の家、静岡県名御殿場市
  • [学会発表] 磁気抵抗メモリ(MRAM)高集積化のための選択性エッチング反応の研究

    • 著者名/発表者名
      村木裕
    • 学会等名
      第6回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
    • 発表場所
      国立中央青少年交流の家、静岡県名御殿場市
  • [学会発表] プラズマエッチングによるFinFET側壁ダメージ層形成機構の数値解析

    • 著者名/発表者名
      溝谷浩平
    • 学会等名
      第6回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
    • 発表場所
      国立中央青少年交流の家、静岡県名御殿場市
  • [学会発表] 低圧酸素プラズマを用いた人工骨表面処理

    • 著者名/発表者名
      斉宮大
    • 学会等名
      第6回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
    • 発表場所
      国立中央青少年交流の家、静岡県名御殿場市
  • [学会発表] プラズマ技術の紹介と現況

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      建築研究開発コンソーシアム(CBRD) プラズマの建築利用研究会第一回研究会
    • 発表場所
      晴海区民館、東京都中央区
  • [学会発表] 低エネルギーイオンビーム照射によるPMMAエッチングイールドへの紫外線照射および水素プラズマ暴露の影響

    • 著者名/発表者名
      吉村智
    • 学会等名
      第53回真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      甲南大学ポートアイランドキャンパス
  • [学会発表] プラズマ医療研究の最前線」

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会第29回年会
    • 発表場所
      クローバープラザ 福岡県春日市
    • 招待講演
  • [学会発表] 量子カスケードレーザーを用いた大気圧RFプラズマリアクター内の赤外吸収分光計測

    • 著者名/発表者名
      弓井孝佳
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会第29回年会
    • 発表場所
      クローバープラザ 福岡県春日市
  • [学会発表] 大気圧放電に接する液中に生成される活性酸素・活性窒素

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      2012年度原子分子データ応用フォーラムセミナー:高Zプラズマの原子過程と、酸素分子が関係する原子分子過程とその応用
    • 発表場所
      核融合科学研究所 岐阜県土岐市
    • 招待講演
  • [学会発表] 大気圧・液中プラズマ照射によるバイオ・ナノプロセス

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      応用物理理学会励起ナノプロセス研究会主催第8回励起ナノプロセス研究会
    • 発表場所
      大阪大学中之島センター 大阪市北区
    • 招待講演
  • [学会発表] 大気圧プラズマにより誘起される水中における活性酸素・活性窒素種の生成

    • 著者名/発表者名
      金澤龍也
    • 学会等名
      第30回プラズマプロセシング研究会
    • 発表場所
      アクトシティ―浜松 静岡県浜松市
  • [学会発表] ゲートエッチングプロセスにおけるハロゲン化シリコンイオン(SiFx+, SiClx+ )による表面反応

    • 著者名/発表者名
      伊藤智子
    • 学会等名
      第30回プラズマプロセシング研究会
    • 発表場所
      アクトシティ―浜松 静岡県浜松市
  • [学会発表] プラズマエッチングにおけるナノメートル表面層反応機構の解明

    • 著者名/発表者名
      伊藤智子
    • 学会等名
      第156回 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会研究会:「プラズマプロセスの最前線」
    • 発表場所
      東京大学本郷キャンパス、東京都文京区
    • 招待講演
  • [学会発表] Numerical Analysis of Damage Formation in Vertical-Walls Gate Etching Processes

    • 著者名/発表者名
      Kohei Mizotani
    • 学会等名
      5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2013)
    • 発表場所
      名古屋大学、 愛知県名古屋市
  • [学会発表] 低エネルギーインジウム照射SiO2の触媒効果の基板温度依存性

    • 著者名/発表者名
      吉村智
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学 神奈川県厚木市
  • [学会発表] ハイドロフルオロカーボン(HFC)プラズマによるSiNエッチングにおける表面ポリマー形成過程の解析

    • 著者名/発表者名
      三宅啓太
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学 神奈川県厚木市
  • [学会発表] 酸素ガスクラスタービーム照射によるシリコン表面酸化プロセスの分子動力学シミュレーション

    • 著者名/発表者名
      溝谷浩平
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学 神奈川県厚木市
  • [学会発表] Taマスクの形状制御のための斜め入射イオンによるスパッタリング解析

    • 著者名/発表者名
      李虎
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学 神奈川県厚木市
  • [学会発表] 磁性体エッチングプロセスにおけるN+イオン照射効果

    • 著者名/発表者名
      村木裕
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学 神奈川県厚木市
  • [学会発表] 浜口智志 プラズマ・ラジカルの物理とその医療応用

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      日本物理学会第68回年次大会
    • 発表場所
      広島大学東広島キャンパス 広島県東広島市
    • 招待講演
  • [産業財産権] バイオセラミックスを含む人工骨の改質方法と、その方法で改質された人工骨2012

    • 発明者名
      浜口智志 吉川秀樹 他
    • 権利者名
      浜口智志 吉川秀樹 他
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      特願2012-085854
    • 出願年月日
      2012-04-04

URL: 

公開日: 2014-07-24  

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