| 研究課題/領域番号 |
22246004
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
天野 浩 名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (60202694)
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| 研究分担者 |
山口 雅史 名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (20273261)
本田 善央 名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (60362274)
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| 研究期間 (年度) |
2010-04-01 – 2013-03-31
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| キーワード | 加圧MOVPE / 緑色LED / 青色LED / 量子効率 |
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| 研究概要 |
前年度までの研究により、TMGa用及びTMIn用のバッファタンクを設け、予備加圧することにより、最大8気圧までの加圧成長に成功した。しかし、熱力学から予想されるIn組成と大幅に異なっていた。その原因として、気体熱伝導率の増加に基づく気相反応の影響を考え、本年度は装置を改造した。具体的には、フローチャネルの材質を変え、SiCコートグラファイトから石英にした。また、マニュアルで行っていたバルブ操作を変えて、半自動的にバルブ操作が可能なシーケンスを組み込んだ。これらの改造により、サセプタ上流部での原料ガスの熱分解が大幅に抑制され、大幅なIn組成の増加を確認し、熱力学的予想とよく一致する結果を得た。新しいフローチャネルを用いて多重量子井戸構造を作製し、X線回折から圧力の増加と共に、InGaN量子井戸層のIn組成が増加すること、InGaN量子井戸層、GaN障壁層ともに膜厚が増加することを確認した。またガス線流速依存性を確認し、従来の反応炉の限界である１気圧ではInGaNの成長ができない高温でもInGaN成長が可能であることを実験的に示すことができた。
これらの結果は、加圧MOVPEの優位性を世界で初めて検証したことを示しており、世界初の学術上極めて大きな成果と言える。今後、他の研究費等を用いて更に実験を行い、その成果を学術雑誌に投稿する予定である。
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| 現在までの達成度 (区分) |
理由
24年度が最終年度であるため、記入しない。
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| 今後の研究の推進方策 |
24年度が最終年度であるため、記入しない。
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